石墨紙墊壓制器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種石墨紙墊壓制器，涉及直拉單晶爐輔助設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，用于壓制直拉單晶爐用的石墨紙墊，能夠替代傳統(tǒng)的手工制作方式。它包括底座、立柱、工作臂、外壓具和內(nèi)壓具，立柱與底座固定連接，工作臂與立柱鉸接，底座上設(shè)有直圓柱形壓槽，外壓具中央設(shè)有直圓柱形通孔，內(nèi)壓具設(shè)有直圓柱形壓頭，抬起時(shí)壓頭位于壓槽外，內(nèi)壓具壓下時(shí)壓頭壓入壓槽內(nèi)，通孔與壓槽的底面半徑相等，底座設(shè)有至少兩個(gè)導(dǎo)向柱，外壓具設(shè)有與導(dǎo)向柱相應(yīng)的導(dǎo)向孔，導(dǎo)向柱使得通孔與壓槽共軸，外壓具和壓頭只能在壓槽的軸向上運(yùn)動(dòng)，工作臂設(shè)有對內(nèi)壓具施力的接觸頭。本裝置壓制方便，效果顯著，非常實(shí)用。
【專利說明】石墨紙墊壓制器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及直拉單晶爐輔助設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]直拉單晶爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域經(jīng)常用到的設(shè)備，其包括爐體、坩堝、石墨加熱器、導(dǎo)流筒，以及晶體提升裝置等部件，其中石墨加熱器與電極柱連接從而給坩堝加熱，加熱電流高達(dá)2000安，因此極有可能由于接觸不良等原因?qū)е麓蚧瓞F(xiàn)象，給設(shè)備造成損壞。為了避免打火，經(jīng)常在電極柱和加熱器器腳之間放入石墨紙墊，并保證松緊適度。傳統(tǒng)技術(shù)中，通常是用手工方式刻制石墨紙墊，這樣做既耽誤時(shí)間又影響質(zhì)量，如果石墨紙墊邊緣留有毛刺，更會(huì)導(dǎo)致打火發(fā)生。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種石墨紙墊壓制器，它通過一個(gè)機(jī)械設(shè)備實(shí)現(xiàn)石墨紙墊的制作，從而替代傳統(tǒng)的手工制作方式，制作出的石墨紙墊符合要求，質(zhì)量穩(wěn)定，且制作過程非?？旖莘奖恪?br> [0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:一種石墨紙墊壓制器，它包括底座、立柱、工作臂、外壓具和內(nèi)壓具，其中立柱與底座固定連接，工作臂與立柱鉸接，底座上設(shè)有用于石墨紙墊成型的直圓柱形壓槽，外壓具中央設(shè)有直圓柱形通孔，內(nèi)壓具設(shè)有直圓柱形壓頭，內(nèi)壓具抬起時(shí)壓頭前端位于壓槽外，內(nèi)壓具全部壓下時(shí)壓頭壓入壓槽內(nèi)，通孔與壓槽的底面半徑相等，底座設(shè)有至少兩個(gè)導(dǎo)向柱，外壓具設(shè)有與導(dǎo)向柱相應(yīng)的導(dǎo)向孔，導(dǎo)向柱穿入導(dǎo)向孔中，導(dǎo)向柱使得通孔與壓槽共軸，外壓具和壓頭只能在壓槽的軸向上運(yùn)動(dòng)，工作臂設(shè)有對內(nèi)壓具施力的接觸頭，壓制石墨紙墊時(shí)，外壓具用于固定石墨紙墊原材料，內(nèi)壓具穿過外壓具并在壓槽中壓出圓形的石墨紙墊。
[0005]作為優(yōu)選，導(dǎo)向柱上設(shè)有用于將外壓具抬起的復(fù)位彈簧。
[0006]作為優(yōu)選，內(nèi)壓具與外壓具之間設(shè)有傳動(dòng)彈簧，內(nèi)壓具通過傳動(dòng)彈簧將壓力傳遞給外壓具，下壓時(shí)外壓具在壓頭進(jìn)入壓槽前接觸底座。
[0007]作為優(yōu)選，底座設(shè)有壓臺(tái)，壓臺(tái)中央即為壓槽，壓臺(tái)與外壓具配合共同將石墨紙墊原材料固定。
[0008]作為優(yōu)選，導(dǎo)向柱以螺紋連接方式與底座固定。
[0009]作為優(yōu)選，導(dǎo)向柱共有兩個(gè)并位于壓槽兩側(cè)，該兩個(gè)導(dǎo)向柱的底端連線與壓槽的軸線相交。
[0010]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實(shí)用新型能夠壓制直拉單晶爐用石墨紙墊，替代傳統(tǒng)的手工制作方式，壓制出的石墨紙墊質(zhì)量穩(wěn)定，符合要求，其壓制過程簡單快捷，可以節(jié)省人力、節(jié)約時(shí)間，非常便于使用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型的剖面圖。
[0013]圖中:1、工作臂；2、傳動(dòng)彈簧；3、內(nèi)壓具；4、立柱；5、壓槽；6、底座；7、復(fù)位彈簧；8、外壓具；9、導(dǎo)向柱；10、導(dǎo)向孔；11、壓臺(tái)；12、壓頭。

【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0015]如圖1、2所示，一種石墨紙墊壓制器，它包括鋼制的底座6、立柱4、工作臂1、外壓具8和內(nèi)壓具3，其中立柱4與底座6固定連接，工作臂I與立柱4鉸接，底座6上設(shè)有圓形壓臺(tái)11，壓臺(tái)11中央開有用于石墨紙墊成型的直圓柱形壓槽5，外壓具8中央設(shè)有直圓柱形通孔，內(nèi)壓具3設(shè)有直圓柱形壓頭12，內(nèi)壓具3抬起時(shí)壓頭12位于壓槽5外，內(nèi)壓具3全部壓下時(shí)壓頭12壓入壓槽5內(nèi)，通孔與壓槽5的底面半徑相等，底座6設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向柱9，導(dǎo)向柱9以螺紋連接方式與底座6固定，導(dǎo)向柱9位于壓槽5兩側(cè)，且其底端連線與壓槽5的軸線相交，外壓具8設(shè)有與導(dǎo)向柱9相應(yīng)的導(dǎo)向孔10，導(dǎo)向柱9穿入導(dǎo)向孔10中，導(dǎo)向柱9使得通孔與壓槽5共軸，外壓具8和壓頭12只能在壓槽5的軸向上運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向柱9上還設(shè)有用于將外壓具8抬起的復(fù)位彈簧7，工作臂I設(shè)有對內(nèi)壓具3施力的接觸頭，內(nèi)壓具3與外壓具8之間設(shè)有傳動(dòng)彈簧2，外壓具8上設(shè)有容納傳動(dòng)彈簧2的凹槽，內(nèi)壓具3上設(shè)有用于給傳動(dòng)彈簧2施力的壓臂，內(nèi)壓具3通過傳動(dòng)彈簧2將壓力傳遞給外壓具8，適當(dāng)選擇傳動(dòng)彈簧2和復(fù)位彈簧7的長度和勁度系數(shù)，使得下壓時(shí)外壓具8在壓頭12進(jìn)入壓槽5前接觸底座6。
[0016]壓制石墨紙墊時(shí)，先將石墨紙墊原材料放在壓臺(tái)11上，原材料覆蓋壓槽5并盡量在壓槽5外圍多留料，然后下壓工作臂1，通過傳動(dòng)彈簧2的作用將使外壓具8先被壓下并固定住原材料，繼續(xù)下壓將使內(nèi)壓具3的壓頭12壓入壓槽5，并壓出一個(gè)圓形的石墨紙墊，壓制完成后，放開工作臂1，復(fù)位彈簧7和傳動(dòng)彈簧2將外壓具8和內(nèi)壓具3抬起，從而可以進(jìn)行下一次壓制。
[0017]本實(shí)用新型用于壓制直拉單晶爐用的石墨紙墊，它能夠替代傳統(tǒng)的手工制作方式，且壓制出的石墨紙墊質(zhì)量穩(wěn)定，符合要求，其壓制過程簡單快捷，可以節(jié)省人力、節(jié)約時(shí)間，非常便于使用。
【權(quán)利要求】
1.一種石墨紙墊壓制器，其特征在于:它包括底座(6)、立柱(4)、工作臂(I)、外壓具(8)和內(nèi)壓具(3)，所述立柱(4)與所述底座(6)固定連接，所述工作臂(I)與所述立柱(4)鉸接，所述底座(6)上設(shè)有直圓柱形壓槽(5)，所述外壓具(8)中央設(shè)有直圓柱形通孔，所述內(nèi)壓具(3)設(shè)有直圓柱形壓頭(12)，所述內(nèi)壓具(3)抬起時(shí)所述壓頭(12)前端位于所述壓槽(5 )外，所述內(nèi)壓具(3 )全部壓下時(shí)所述壓頭(12)壓入所述壓槽(5 )內(nèi)，所述通孔與所述壓槽(5 )的底面半徑相等，所述底座(6 )設(shè)有至少兩個(gè)導(dǎo)向柱(9 )，所述外壓具(8 )設(shè)有與所述導(dǎo)向柱(9)相應(yīng)的導(dǎo)向孔(10),所述導(dǎo)向柱(9)穿入所述導(dǎo)向孔(10),所述導(dǎo)向柱(9)使得所述通孔與所述壓槽(5 )共軸，所述外壓具(8 )和所述壓頭(12 )只能在所述壓槽(5 )的軸向上運(yùn)動(dòng)，所述工作臂(I)設(shè)有對所述內(nèi)壓具(3)施力的接觸頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨紙墊壓制器，其特征在于所述導(dǎo)向柱(9)上設(shè)有用于將所述外壓具(8)抬起的復(fù)位彈簧(J)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨紙墊壓制器，其特征在于所述內(nèi)壓具(3)與所述外壓具(8)之間設(shè)有傳動(dòng)彈簧(2)，所述內(nèi)壓具(3)通過所述傳動(dòng)彈簧(2)將壓力傳遞給所述外壓具(8 )，下壓時(shí)所述外壓具(8 )在所述壓頭(12)進(jìn)入所述壓槽(5 )前接觸所述底座(6 )。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨紙墊壓制器，其特征在于所述底座(6)設(shè)有壓臺(tái)(11)，所述壓臺(tái)(11)中央即為所述壓槽(5)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨紙墊壓制器，其特征在于所述導(dǎo)向柱(9)以螺紋連接方式與所述底座(6)固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨紙墊壓制器，其特征在于所述導(dǎo)向柱(9)為兩個(gè)，所述導(dǎo)向柱(9)位于壓槽(5)兩側(cè)，且所述導(dǎo)向柱(9)的底端連線與所述壓槽(5)的軸線相交。
【文檔編號(hào)】C30B15/14GK203923444SQ201420271233
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月26日
【發(fā)明者】劉彬國, 何京輝, 曹祥瑞, 劉欽 申請人:邢臺(tái)晶龍電子材料有限公司