一種分體式vgf法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種分體式VGF法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托。氯化釔穩(wěn)定氧化鋯材質(zhì)的坩堝托主體（1）被沿軸向加工成了均勻的三瓣，當(dāng)三瓣兒組合成一個(gè)圓柱體時(shí)，每?jī)砂曛g會(huì)有極微小的間隙，坩堝托主體（1）的下部加工有外錐面，通過外錐面安放在坩堝托主體座（2）的內(nèi)錐面上，這種設(shè)計(jì)保證了坩堝的對(duì)中性，坩堝托主體座（2）的底部加工有外止口，其外止口插入石英管（4）的內(nèi)孔中定位，石英管（4）的內(nèi)部充滿保溫棉（5），石英管的外面套有氧化鋁管（3），氧化鋁管（3）的上端面輔助支撐坩堝托主體（1）的下端的環(huán)狀凸臺(tái)，多層保溫結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，增加徑向保溫性，上述設(shè)計(jì)減小了坩堝托的熱應(yīng)力變形，提高了坩堝托的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】—種分體式VGF法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及VGF法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托技術(shù)，具體涉及一種分體式VGF法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托。

【背景技術(shù)】
[0002]VGF法單晶生長(zhǎng)工藝中，裝有多晶料的安瓿瓶在坩堝托的支撐下固定于爐體中心位置，由于爐體與安瓿瓶沒有相對(duì)運(yùn)動(dòng)，故必須保持坩堝托主體、安瓿瓶、坩堝、爐體的嚴(yán)格對(duì)中性；坩堝托主體與安瓿瓶的接觸位置在放肩部分，其對(duì)籽晶及放肩部分的溫場(chǎng)影響十分顯著；此外由于晶體生長(zhǎng)溫度較高且工藝過程時(shí)間長(zhǎng)，因而要求坩堝托主體材質(zhì)高溫性能十分穩(wěn)定；因而坩堝托主體結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，在VGF法單晶生長(zhǎng)工藝中選擇顯得尤為重要，要求坩堝托主體具有較高的熱穩(wěn)定性，較小的變形。原有的坩堝托主體均為整體式，受熱時(shí)內(nèi)應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致坩堝托主體變形，對(duì)單晶的質(zhì)量有很大影響，同時(shí)坩堝托主體和安瓿瓶的材質(zhì)相同，容易粘連，重復(fù)使用性幾乎為零。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型針對(duì)技術(shù)背景中提出的問題，設(shè)計(jì)一種分體式VGF法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托，該坩堝托主體采用氯化釔穩(wěn)定氧化鋯材質(zhì)，高溫性能穩(wěn)定，和安瓿瓶不產(chǎn)生高溫粘連，且該坩堝托主體打破現(xiàn)有坩堝托主體整體設(shè)計(jì)的方式，采用將坩堝托主體設(shè)計(jì)三瓣形式，這種設(shè)計(jì)減小了坩堝托的熱應(yīng)力變形，提高了坩堝托的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種分體式VGF法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托包括坩堝托主體，坩堝托主體沿軸向上分成均勻的三瓣，三瓣兒組合成一個(gè)圓柱體，相鄰兩瓣之間有間隙，坩堝托主體上部?jī)?nèi)壁的形狀與坩堝的形狀相吻合，坩堝托主體的下部加工有外錐面，通過外錐面安放在坩堝托主體座的內(nèi)錐面上，坩堝托主體座的底部加工有外止口，其外止口插入石英管的內(nèi)孔中定位，石英管的內(nèi)部充滿保溫棉，石英管外套有氧化鋁管，氧化鋁管的上端面與坩堝托主體底端面的外沿相觸。
[0005]本實(shí)用新型具有如下有益效果:(I)坩堝托分體式設(shè)計(jì)，有效的減小了內(nèi)應(yīng)力引起的變形、開裂，提高了使用壽命；(2)坩堝托主體底部錐面設(shè)計(jì)，能夠使坩堝托主體的三瓣結(jié)合緊密，同時(shí)提高了對(duì)中性。(3)重復(fù)利用率高，節(jié)約生產(chǎn)成本。
[0006]【專利附圖】

【附圖說明】:
[0007]附圖1是本實(shí)用新型組裝圖的主視圖；
[0008]附圖2是本實(shí)用新型組裝圖的俯視圖。
[0009]圖中1-坩堝托主體，2-坩堝托主體座，3-氧化鋁管，4-石英管，5-保溫棉。
[0010]【具體實(shí)施方式】:
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0012]如圖1和圖2所示，該分體式VGF法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托包括坩堝托主體1，坩堝托主體I被沿軸向加工成了均勻的三瓣，可有效釋放內(nèi)應(yīng)力，減少變形及開裂，當(dāng)三瓣兒組合成一個(gè)圓柱體時(shí)，相鄰兩瓣之間會(huì)有微小的間隙，微小間隙的存在有效的抵消了受熱變形；坩堝托主體I的下部加工有外錐面，通過外錐面安放在坩堝托主體座2的內(nèi)錐面上，使坩堝托主體各部分進(jìn)行緊密連接，同時(shí)提高對(duì)中性；坩堝托主體座2的底部加工有外止口，其外止口插入石英管4的內(nèi)孔中定位，石英管4的內(nèi)部充滿保溫棉5，石英管4的外面套有氧化鋁管3，氧化鋁管3的上端面與坩堝托主體I底端面的外沿相觸。氧化鋁管3的上端面輔助支撐坩堝托主體I的下端面上的環(huán)狀凸臺(tái)，保證了其穩(wěn)定性。
【權(quán)利要求】
1.一種分體式VGF法單晶生長(zhǎng)工藝用坩堝托，包括坩堝托主體(I)，其特征在于:坩堝托主體(I)沿軸向上分成均勻的三瓣，三瓣兒組合成一個(gè)圓柱體，相鄰兩瓣之間有間隙，坩堝托主體(I)上部?jī)?nèi)壁的形狀與坩堝的形狀相吻合，坩堝托主體(I)的下部加工有外錐面，通過外錐面安放在坩堝托主體座(2)的內(nèi)錐面上，坩堝托主體座(2)的底部加工有外止口，其外止口插入石英管(4)的內(nèi)孔中定位，石英管(4)的內(nèi)部充滿保溫棉(5)，石英管(4)外套有氧化鋁管(3 )，氧化鋁管(3 )的上端面與坩堝托主體(I)底端面的外沿相觸。
【文檔編號(hào)】C30B11/00GK203960388SQ201420351891
【公開日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2014年6月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月29日
【發(fā)明者】徐蘭蘭, 張學(xué)鋒, 王玉辰 申請(qǐng)人:大慶佳昌晶能信息材料有限公司