一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置，尤其涉及大尺寸上籽晶生長(zhǎng)法的一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置。本實(shí)用新型包括：兩個(gè)90°交叉設(shè)置調(diào)節(jié)器，調(diào)節(jié)器側(cè)壁上開有調(diào)整間隙，頂部設(shè)有上下貫通的緊定螺釘孔，及圓柱頭螺釘；位于上方的調(diào)節(jié)器頂部有上連接桿；上連接桿一端與電機(jī)連接，位于下方的調(diào)節(jié)器底部設(shè)有下連接桿，下連接桿與下夾頭連接，下夾頭上設(shè)有籽晶桿插入的內(nèi)孔，下夾頭側(cè)壁上開有與內(nèi)孔相連通的螺釘孔。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可實(shí)現(xiàn)快速，精確準(zhǔn)的對(duì)中調(diào)節(jié)。通過緊定螺釘與圓柱頭螺釘調(diào)節(jié)，能夠在使用過程中保證調(diào)節(jié)的穩(wěn)定，即使升到高溫，仍能保持良好的穩(wěn)定性及精度。通過不同方向的四個(gè)緊固螺釘將籽晶桿固定，夾持力強(qiáng)。
【專利說明】—種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置，尤其涉及大尺寸上籽晶生長(zhǎng)法的一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]采用上籽晶單晶生長(zhǎng)的主要方法有泡生法，直拉法等，籽晶在上的主要優(yōu)點(diǎn)在于，整個(gè)生長(zhǎng)過程中，晶體的側(cè)面不與坩堝接觸，因此單晶的熱應(yīng)力小，質(zhì)量高；同時(shí)坩堝與晶體之間存在的縫隙使得坩堝在降溫過程中不會(huì)受到來(lái)自晶體的徑向力的作用，增加坩堝的壽命。
[0003]隨著對(duì)成本的考慮，單晶生長(zhǎng)的尺寸越來(lái)越大，因此單晶生長(zhǎng)所使用的坩堝與溫場(chǎng)也隨之增大，在引晶過程中，對(duì)籽晶中心度的要求也越來(lái)越高，特別是轉(zhuǎn)速較大的引晶。如果在籽晶安裝的中心度較差，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)的帶動(dòng)下不會(huì)自轉(zhuǎn)，而是圍繞中心軸畫圈，這樣在引晶過程中生長(zhǎng)界面不均勻，導(dǎo)致拖曳尾巴情況出現(xiàn)，并會(huì)直接造成后期生長(zhǎng)晶體的質(zhì)量下降，甚至造成長(zhǎng)晶的失敗。
[0004]現(xiàn)階段多數(shù)單晶爐的籽晶調(diào)節(jié)都是通過整個(gè)上提拉裝置的移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，其缺點(diǎn)在于成本高，精度差，且只能在水平面平移，使籽晶調(diào)整到中心點(diǎn)，如果籽晶桿等出現(xiàn)變形；即使通過平移使籽晶位于中心點(diǎn)附近，在其旋轉(zhuǎn)時(shí)，籽晶依然沿一錐面劃圈。
[0005]如中國(guó)專利(申請(qǐng)?zhí)?01210538756.2)可以解決劃圈問題，但其過程是由調(diào)整彈簧實(shí)現(xiàn)的，其缺點(diǎn)在于:1、考慮到籽晶夾持裝置所處工作溫度較高，時(shí)間較長(zhǎng)，因此彈簧在使用過程中很容易發(fā)生蠕動(dòng)變形，使用壽命大大縮短，且穩(wěn)定性差；2、其三方向調(diào)節(jié)的精度差。3其與籽晶桿的連接采用類彈簧夾頭設(shè)計(jì)，經(jīng)過高溫生長(zhǎng)后不易拆卸，壽命短。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置，該裝置可以實(shí)現(xiàn)大尺寸單晶生長(zhǎng)快速，精確的籽晶對(duì)中，且夾持強(qiáng)度高，穩(wěn)定性好。
[0007]技術(shù)解決方案
[0008]本實(shí)用新型包括:兩個(gè)形狀大小相同的調(diào)節(jié)器，兩調(diào)節(jié)器上下90°交叉設(shè)置，調(diào)節(jié)器側(cè)壁上開有調(diào)整間隙，頂部設(shè)有兩個(gè)上下貫通的緊定螺釘孔，及一個(gè)貫通的圓柱頭螺釘；位于上方的調(diào)節(jié)器頂部有上連接桿；上連接桿一端與電機(jī)連接，位于下方的調(diào)節(jié)器底部設(shè)有下連接桿，下連接桿與下夾頭連接，下夾頭上設(shè)有籽晶桿插入的內(nèi)孔，下夾頭側(cè)壁上開有與內(nèi)孔相連通的螺釘孔。
[0009]所述下夾頭側(cè)面設(shè)有四個(gè)螺釘孔。
[0010]所述上連接桿、調(diào)節(jié)器、下連接桿、下夾頭一次成型。
[0011]調(diào)整間隙尾部的間隙度大于頭部的間隙度。
[0012]本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn):
[0013]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可實(shí)現(xiàn)快速，精確準(zhǔn)的對(duì)中調(diào)節(jié)。整體采用一體成型設(shè)計(jì)，使用壽命長(zhǎng)，易維護(hù)。通過緊定螺釘與圓柱頭螺釘調(diào)節(jié)，能夠在使用過程中保證調(diào)節(jié)的穩(wěn)定，即使升到高溫，仍能保持良好的穩(wěn)定性及精度。通過不同方向的四個(gè)緊固螺釘將籽晶桿固定，夾持力強(qiáng)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0015]本實(shí)用新型兩個(gè)形狀大小相同的調(diào)節(jié)器，兩調(diào)節(jié)器上下90°交叉設(shè)置形成上調(diào)節(jié)器2和下調(diào)節(jié)器3，上調(diào)節(jié)器2及下調(diào)節(jié)器3的側(cè)部中部水平方向開有調(diào)整間隙6，調(diào)整間隙尾部的間隙度大于頭部的間隙度，上調(diào)節(jié)器2及下調(diào)節(jié)器3頂部頭部位置處開有兩個(gè)貫通的緊定螺釘5孔和一個(gè)貫通的圓柱頭螺釘4孔；上調(diào)節(jié)器2頂部上連接桿I ;上連接桿I一端與電機(jī)連接，下調(diào)節(jié)器3底部設(shè)有下連接桿7，下連接桿7與下夾頭8連接，下夾頭8上設(shè)有籽晶桿插入的內(nèi)孔10，下夾頭8側(cè)壁上開有與內(nèi)孔10相連通的四個(gè)相對(duì)應(yīng)的螺釘孔9。
[0016]本實(shí)用新型考慮到本發(fā)明要夾持的晶體重量較大，因此上連接桿1，上調(diào)節(jié)器2，下調(diào)節(jié)器3，下連接桿7、下夾頭8，要求由一整塊金屬材料加工而成，該金屬材料為耐熱不銹鋼。
[0017]調(diào)節(jié)器的各平面(包括調(diào)整間隙6)由線切割加工而成。
[0018]上調(diào)節(jié)器2和下調(diào)節(jié)器3上均有一個(gè)圓柱頭螺釘4和兩個(gè)緊定螺釘5 ;旋緊圓柱頭螺釘孔4，旋松緊定螺釘5，可以減小間隙6的寬度；旋松圓柱頭螺釘4，旋緊緊定螺釘5可以增加間隙6的寬度。
[0019]通過調(diào)節(jié)圓柱頭螺釘4和緊定螺釘5，來(lái)變間隙的寬度，使籽晶夾頭在兩個(gè)垂直方向上產(chǎn)生擺動(dòng)，實(shí)現(xiàn)籽晶的對(duì)中。
[0020]下夾頭8下開內(nèi)孔10，使籽晶桿插入，并通過四個(gè)方向的緊定螺釘9固定，為了保證夾持力，緊定螺釘9穿過下夾頭8置于籽晶桿的環(huán)形槽內(nèi)。
[0021]使用時(shí)，將籽晶桿插入下夾頭8的內(nèi)孔10中，旋緊四個(gè)方向緊定螺釘9內(nèi)的緊定螺釘以固定籽晶桿。啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)，發(fā)現(xiàn)籽晶下端隨著旋轉(zhuǎn)劃圈，停止旋轉(zhuǎn)。將上調(diào)整器2的調(diào)整端(有螺釘?shù)囊欢?停在右側(cè)，下調(diào)整器3的調(diào)整端停在前側(cè)，此時(shí)發(fā)現(xiàn)籽晶位于劃圈圓點(diǎn)的左前方。將右側(cè)上調(diào)整端的緊定螺釘5旋松，旋緊中間的圓柱頭螺釘4，調(diào)整籽晶向右偏移至左右中間位置，旋緊緊定螺釘5。將前側(cè)下調(diào)整端的圓柱頭螺釘5旋松，旋緊緊定螺4，使籽晶向后偏移至劃圈的中心點(diǎn)，旋緊圓柱頭螺釘5。再次啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)，籽晶在中心點(diǎn)位置轉(zhuǎn)動(dòng)，無(wú)劃圈現(xiàn)象，完成籽晶的對(duì)中調(diào)整。
【權(quán)利要求】
1.一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置，其特征在于，包括:兩個(gè)形狀大小相同的調(diào)節(jié)器，兩調(diào)節(jié)器上下90°交叉設(shè)置，調(diào)節(jié)器側(cè)壁上開有調(diào)整間隙，頂部設(shè)有兩個(gè)上下貫通的緊定螺釘孔，及一個(gè)貫通的圓柱頭螺釘；位于上方的調(diào)節(jié)器頂部有上連接桿；上連接桿一端與電機(jī)連接，位于下方的調(diào)節(jié)器底部設(shè)有下連接桿，下連接桿與下夾頭連接，下夾頭上設(shè)有籽晶桿插入的內(nèi)孔，下夾頭側(cè)壁上開有與內(nèi)孔相連通的螺釘孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置，其特征在于，下夾頭側(cè)面設(shè)有四個(gè)螺釘孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置，其特征在于，所述上連接桿、調(diào)節(jié)器、下連接桿、下夾頭一次成型。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種對(duì)中可調(diào)的籽晶夾持裝置，其特征在于，調(diào)整間隙尾部的間隙度大于頭部的間隙度。
【文檔編號(hào)】C30B17/00GK204125563SQ201420480415
【公開日】2015年1月28日 申請(qǐng)日期:2014年8月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月25日
【發(fā)明者】羅仁輝, 楊明超, 秦英謖 申請(qǐng)人:內(nèi)蒙古京晶光電科技有限公司