雙門拉晶爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】的設(shè)備，名稱是雙門拉晶爐，它具有架子，架子上安裝有可搖擺的爐體，爐體內(nèi)具有爐腔，所述的爐體是長方體的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔也是長方體的空腔，空腔的深度就是長方體的長，拉晶爐的開口處設(shè)置有爐門，所述的拉晶爐底部設(shè)置第二個(gè)開口，第二個(gè)開口處鉸接有第二個(gè)爐門，這樣的雙門拉晶爐具有使用方便、維修支撐部位方便的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】雙門拉晶爐

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】的設(shè)備，特別是涉及拉晶爐。

【背景技術(shù)】
[0002]拉晶爐是指半導(dǎo)體原料的分子在高溫下進(jìn)行排列整齊的裝備，拉晶爐具有架子，架子上安裝有可搖擺的爐體，爐體內(nèi)具有爐腔，所述的爐體是長方體的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔也是長方體的空腔，空腔的深度就是長方體的長，也就是說爐腔是較深的；現(xiàn)有技術(shù)中，拉晶爐只有一個(gè)門，這樣在向爐腔里面放置拉晶管時(shí)具有安裝麻煩的缺點(diǎn)，另外，現(xiàn)有技術(shù)中，拉晶爐的底部還往往有支撐拉晶管的支撐部位，這些支撐部位容易損壞，一個(gè)門的拉晶爐具有維修支撐部位困難的缺點(diǎn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種使用方便、維修支撐部位方便的拉晶爐——雙門拉晶爐。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:雙門拉晶爐，具有架子，架子上安裝有可搖擺的爐體，爐體內(nèi)具有爐腔，所述的爐體是長方體的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔也是長方體的空腔，空腔的深度就是長方體的長，拉晶爐的開口處設(shè)置有爐門，其特征是:所述的拉晶爐底部設(shè)置第二個(gè)開口，第二個(gè)開口處鉸接有第二個(gè)爐門。
[0005]進(jìn)一步地講，所述的第二開口設(shè)置在底部的側(cè)面。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果是:這樣的雙門拉晶爐具有使用方便、維修支撐部位方便的優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖2是本實(shí)用新型的有一種情況的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]其中:1、架子 2、爐體 3、爐腔 4、爐門 5、第二個(gè)爐門。

【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0011]如圖1所示，雙門拉晶爐，具有架子1，架子I上安裝有可搖擺的爐體2，爐體2內(nèi)具有爐腔3，所述的爐體是長方體的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔也是長方體的空腔，空腔的深度就是長方體的長，拉晶爐的開口處設(shè)置有爐門4，其特征是:所述的拉晶爐底部設(shè)置第二個(gè)開口，第二個(gè)開口處鉸接有第二個(gè)爐門5。
[0012]由于設(shè)置第二個(gè)爐門5，向爐腔內(nèi)部放置拉晶管時(shí)可以在爐體的兩端操作，對(duì)爐體的維修也很方便，具有本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。
[0013]進(jìn)一步地講，所述的第二開口設(shè)置在底部的側(cè)面，如圖2所示，這樣放置材料時(shí)更方便。
[0014]以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，但本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征并不限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實(shí)用新型的專利范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.雙門拉晶爐，具有架子，架子上安裝有可搖擺的爐體，爐體內(nèi)具有爐腔，所述的爐體是長方體的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔也是長方體的空腔，空腔的深度就是長方體的長，拉晶爐的開口處設(shè)置有爐門，其特征是:所述的拉晶爐底部設(shè)置第二個(gè)開口，第二個(gè)開口處鉸接有第二個(gè)爐門。
【文檔編號(hào)】C30B15/00GK204080176SQ201420540885
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2014年9月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月21日
【發(fā)明者】陳磊, 劉栓紅, 趙麗萍, 錢俊有, 張文濤, 蔡水占, 郭晶晶, 張會(huì)超, 陳永平 申請(qǐng)人:河南鴻昌電子有限公司