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      一種掩??虻陌徇\裝置制造方法

      文檔序號:8115200閱讀:227來源:國知局
      一種掩??虻陌徇\裝置制造方法
      【專利摘要】本實用新型公開了一種掩??虻陌徇\裝置,包括夾持機構(gòu)、支撐機構(gòu)、連接機構(gòu)、承載機構(gòu)以及傳送機構(gòu),夾持機構(gòu)固定于支撐機構(gòu)上,支撐機構(gòu)通過連接機構(gòu)與承載機構(gòu)連接,承載機構(gòu)通過傳送機構(gòu)傳送固定于夾持機構(gòu)上的所述掩???;夾持機構(gòu)包括至少三個夾持裝置,支撐機構(gòu)包括至少三個支撐邊,連接機構(gòu)包括至少三個連桿,承載機構(gòu)、支撐機構(gòu)分別包括至少三個鉸鏈座,每個連桿的一端與承載機構(gòu)上的一個鉸鏈座連接,另一端與支撐機構(gòu)上對應(yīng)的鉸鏈座連接。本實用新型提供的掩??虻陌徇\裝置,很好的解決了因掩模框較重人工搬運困難的問題。
      【專利說明】一種掩??虻陌徇\裝置

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實用新型屬于平面顯示行業(yè),涉及OLED顯示屏產(chǎn)業(yè),尤其涉及一種OLED掩??虻陌徇\裝置。

      【背景技術(shù)】
      [0002]OLED是下一代的顯示技術(shù),與目前使用的IXD顯示技術(shù)相比,具有可視角大、色彩艷麗、功耗低等優(yōu)點,會逐漸替代目前主流的液晶顯示技術(shù)。OLED顯示屏制作過程中,有一道有機發(fā)光體蒸鍍工藝,需要用到高精度的OLED蒸鍍用掩模組件,掩模組件的質(zhì)量對顯示屏的質(zhì)量、成品率有極大影響,是制約OLED顯示屏發(fā)展的關(guān)鍵因素。
      [0003]OLED蒸鍍用掩模組件包括掩模板和掩??騼刹糠?,掩模板上具有精密圖形,精密圖形為蒸鍍圖形轉(zhuǎn)印的基準(zhǔn),通過繃網(wǎng)機構(gòu)將帶有精密圖形的掩模板進行繃網(wǎng),使掩模板具有一定的張力,通過激光焊接將具有一定張力的掩模板固定于掩??颉Q谀0宓木戎苯佑绊慜LED顯示屏的質(zhì)量,通常要求精度偏差在幾個微米范圍以內(nèi),為保證掩模板的精度,減小在搬運及蒸鍍過程中掩模板精度的偏差,掩??蛐枰凶銐虻膹姸?,為保證掩模框的強度掩??蛘w的質(zhì)量比較大。
      [0004]隨著OLED顯示屏的大尺寸化以及大批量生產(chǎn)的需要,掩模框的質(zhì)量也隨之增加,由于掩模框質(zhì)量較大,通常由人工將掩模框搬運到或搬離焊接、測量等操作平臺比較困難。
      [0005]本實用新型主要針對以上問題提出一種掩??虻陌徇\裝置,較好的解決以上所述冋題。
      實用新型內(nèi)容
      [0006]有鑒于此,為克服現(xiàn)有技術(shù)中因掩??蜉^重人工搬運困難的問題,本實用新型提供一種掩模框的搬運裝置,包括夾持機構(gòu)、支撐機構(gòu)、連接機構(gòu)、承載機構(gòu)以及傳送機構(gòu),所述夾持機構(gòu)固定于所述支撐機構(gòu)上,所述支撐機構(gòu)通過所述連接機構(gòu)與所述承載機構(gòu)連接,所述承載機構(gòu)通過所述傳送機構(gòu)傳送固定于所述夾持機構(gòu)上的所述掩???;
      [0007]所述夾持機構(gòu)包括至少三個夾持裝置,所述支撐機構(gòu)包括至少三個支撐邊,所述連接機構(gòu)包括至少三個連桿,所述承載機構(gòu)、所述支撐機構(gòu)分別包括至少三個鉸鏈座,每個所述連桿的一端與所述承載機構(gòu)上的一個所述鉸鏈座連接,另一端與所述支撐機構(gòu)上對應(yīng)的所述鉸鏈座連接。
      [0008]進一步地,所述傳送機構(gòu)為兩條平行的傳送導(dǎo)軌,所述承載機構(gòu)為橫梁,所述橫梁的兩端安裝有滑塊,所述滑塊可以在所述傳送導(dǎo)軌上滑動。
      [0009]進一步地,所述夾持裝置包括設(shè)有沉頭孔的夾持塊,所述夾持塊通過螺釘與所述沉頭孔配合固定于所述夾持裝置上,通過調(diào)整所述螺釘在所述沉頭孔固定的位置以適應(yīng)不同厚度的所述掩???。
      [0010]進一步地,所述橫梁的兩個側(cè)面對稱的固定有四個所述鉸鏈座;
      [0011]所述支撐機構(gòu)包括四個所述支撐邊和四個所述鉸鏈座,四個所述支撐邊組成兩組對邊,四個所述鉸鏈座對稱的固定于所述支撐機構(gòu)的一組對邊;
      [0012]所述夾持機構(gòu)包括四個所述夾持裝置,四個所述夾持裝置對稱的固定于所述支撐機構(gòu)固定有所述鉸鏈座的一組對邊;
      [0013]所述連接機構(gòu)包括四個所述連桿,四個所述連桿的一端分別固定于所述橫梁上的四個所述鉸鏈座,另一端分別固定于所述支撐機構(gòu)上對應(yīng)的四個所述鉸鏈座。
      [0014]所述夾持裝置與所述支撐邊為一體成型結(jié)構(gòu)或通過固定機構(gòu)固定于所述支撐機構(gòu)上。
      [0015]所述橫梁上的所述鉸鏈座與所述橫梁為一體成型結(jié)構(gòu)或通過固定機構(gòu)固定于所述橫梁;所述支撐邊上的所述鉸鏈座與所述支撐邊為一體成型結(jié)構(gòu)或通過固定機構(gòu)固定于所述支撐邊。
      [0016]所述橫梁為實體結(jié)構(gòu)或中空結(jié)構(gòu),中空結(jié)構(gòu)的橫梁可以減小橫梁的重量,從而減小對操作平臺的壓力。
      [0017]進一步地,所述支撐機構(gòu)為一體成型結(jié)構(gòu)或由分立的支撐邊連接而成。
      [0018]進一步地,所述支撐機構(gòu)可以伸縮以適應(yīng)不同邊長尺寸的所述掩???。
      [0019]進一步地,所述傳送導(dǎo)軌的側(cè)邊安裝有直線電機,通過所述直線電機可以自動控制所述橫梁在所述傳送導(dǎo)軌上滑行。
      [0020]進一步地,所述連桿的兩端設(shè)有通孔,所述連桿兩端通過緊固件與所述鉸鏈座連接,所述連桿與所述支撐機構(gòu)上所述鉸鏈座連接的一端的所述通孔為長條通孔。
      [0021]進一步地,所述掩模框的搬運裝置還包括支撐平臺,所述支撐平臺包括支撐平臺基架、支撐平臺底座、支撐平臺滑動組件、支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)、支撐平臺定位機構(gòu),所述支撐平臺基架固定于所述支撐平臺底座上,所述支撐平臺滑動組件、支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)、支撐平臺定位機構(gòu)均設(shè)置在所述支撐平臺基架上。
      [0022]進一步地,所述支撐平臺滑動組件由若干鋼珠滾輪按一定分布方式構(gòu)成,所述鋼珠滾輪的分布方式與所述掩??虻耐庑蜗噙m應(yīng),所述支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)置在所述支撐平臺基架的兩側(cè),所述支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)與所述掩??虻耐庑蜗噙m應(yīng),所述支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)的內(nèi)側(cè)還設(shè)置有導(dǎo)向滑動機構(gòu),所述導(dǎo)向滑動機構(gòu)是滾珠;所述支撐平臺定位機構(gòu)設(shè)置在所述支撐平臺基架上,通過所述支撐平臺定位機構(gòu)使所述掩??蜓b載在所述支撐平臺上的確定位置,使所述夾持機構(gòu)能夠夾持所述掩??虻拇_定位置。
      [0023]本實用新型提供的掩??虬徇\裝置可以解決傳統(tǒng)搬運OLED掩??蜻^程中因掩模框質(zhì)量較大搬運困難的問題。
      [0024]本實用新型附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過本實用新型的實踐了解到。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0025]本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解,其中:
      [0026]圖1所示為本實用新型的一種掩??虻陌徇\裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0027]圖2所示為通過本實用新型的搬運裝置搬運掩??虻慕Y(jié)構(gòu)示意圖;
      [0028]圖3所示為本實用新型另一種掩??虻陌徇\裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0029]圖4所示為本實用新型另一種掩模框的搬運裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0030]圖5所示為圖1中18部分放大示意圖;
      [0031]圖6所示為圖2中21部分放大示意圖;
      [0032]圖7所示為本實用新型掩模框搬運裝置的支撐平臺的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0033]圖8所示為圖7中70部分放大示意圖;
      [0034]圖9所示為本實用新型中將掩模框裝載到支撐平臺的過程示意圖;
      [0035]圖10所示為本實用新型掩??虬徇\裝置搬運掩??虻倪^程示意圖;
      [0036]圖11所示為本實用新型中掩模框的搬運裝置在具體操作基臺上搬運掩??虻倪^程不意圖;
      [0037]圖12所示為掩??蜉d臺結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0038]圖13所示為通過本實用新型掩??虬徇\裝置將掩模框裝載到掩??蜉d臺的過程示意圖;
      [0039]圖14所示為圖13中130部分放大示意圖。
      [0040]圖1中,11為組成夾持機構(gòu)的夾持裝置,12為支撐機構(gòu),120、121為支撐機構(gòu)的支撐邊,13為連桿,14為承載機構(gòu),15為傳送機構(gòu),16為鉸鏈座,17為滑塊,18為待放大觀測部分;
      [0041]圖2中,20為掩模框,21為待放大觀測部分;
      [0042]圖5中,51為夾持塊,511為夾持塊側(cè)板,512為夾持塊下夾板,52為沉頭孔,53為氣動組件,54為夾持裝置導(dǎo)向板,55為夾持裝置導(dǎo)向桿;
      [0043]圖7中,7代表支撐平臺,70為待放大觀測部分,71為支撐平臺基架,72為支撐平臺底座,73為構(gòu)成支撐平臺滑動組件的鋼珠滾輪,74為支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu),75為支撐平臺定位機構(gòu);
      [0044]圖8中,741為導(dǎo)向滑動機構(gòu);
      [0045]圖11中,111為掩??蜉d臺,112為繃網(wǎng)夾持模塊,113為直線電機,114為基臺。1141為基臺支撐基架,1142為花崗巖平臺,115為傳送導(dǎo)軌支撐;
      [0046]圖12中,1111為掩模框載臺基架,1112為調(diào)平機構(gòu),1113為掩??虺休d板,1114為掩??蜉d臺定位機構(gòu),11141為構(gòu)成定位機構(gòu)的定位塊,11142為構(gòu)成定位機構(gòu)的頂緊氣缸,11151為升降驅(qū)動裝置,11152為頂板;
      [0047]圖13中,130為待放大觀測部分;
      [0048]圖14中,11111為掩??蜉d臺基架的底板,11112為掩??蜉d臺基架的側(cè)板,11121為電動執(zhí)行器,11122為為構(gòu)成調(diào)平機構(gòu)1112的調(diào)平板,11123為調(diào)平導(dǎo)向裝置,11153為頂起導(dǎo)向裝置。

      【具體實施方式】
      [0049]下面詳細(xì)描述本實用新型的實施例,所述實施例的示例在附圖中示出,其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的,僅用于解釋本實用新型,而不能解釋為對本實用新型的限制。
      [0050]在本實用新型的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“固定”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,“連接”可以是固定連接,一體地連接,也可以是可拆卸連接;“固定”可以是一體成型的固定,也可以是通過連接機構(gòu)固定。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。
      [0051]本實用新型的發(fā)明構(gòu)思如下,如技術(shù)背景所述,為保證掩模板具有較高的精度,掩??虻馁|(zhì)量比較大,又由于OLED顯示屏的大尺寸化以及大批量生產(chǎn)的需要,掩??虻馁|(zhì)量也隨之增加,通常由人工將掩??虬徇\到或搬離焊接、測量等平臺比較困難。本實用新型提供的掩模框的搬運裝置,可以解決由于掩??虮容^重,人工搬運困難的問題,通過本實用新型提供的搬運裝置可以方便的將沉重的掩??虬徇\到或搬離焊接機構(gòu)和測量機構(gòu),解放勞動力同時提高生產(chǎn)效率。
      [0052]下面將參照附圖來描述本實用新型的掩模框的搬運裝置。
      [0053]根據(jù)本實用新型的實施例,本實用新型提供了一種掩??虻陌徇\裝置包括夾持機構(gòu)、支撐機構(gòu)12、連接機構(gòu)、承載機構(gòu)以及傳送機構(gòu),夾持機構(gòu)固定于支撐機構(gòu)上,支撐機構(gòu)通過連接機構(gòu)與承載機構(gòu)連接,承載機構(gòu)通過傳送機構(gòu)傳送固定于夾持機構(gòu)上的掩模框20 ;
      [0054]夾持機構(gòu)包括至少三個夾持裝置11,支撐機構(gòu)包括至少三個支撐邊,連接機構(gòu)包括至少三個連桿13,承載機構(gòu)、支撐機構(gòu)分別包括至少三個鉸鏈座16,每個連桿13的一端與承載機構(gòu)上的一個鉸鏈座16連接,另一端與支撐機構(gòu)上對應(yīng)的鉸鏈座16連接。
      [0055]根據(jù)本實用新型的一些實施例,如圖f圖4所示,傳送機構(gòu)為兩條平行的傳送導(dǎo)軌15,承載機構(gòu)為橫梁14,橫梁14的兩端安裝有滑塊17,滑塊17可以在傳送導(dǎo)軌15上滑動,傳送導(dǎo)軌15安裝于相應(yīng)平臺的支架上方,如測量平臺的支架或焊接平臺的支架,以便將掩模框通過搬運裝置運送到相應(yīng)的平臺。
      [0056]根據(jù)本實用新型的一些實施例,如圖f圖4所示,夾持裝置11包括設(shè)有沉頭孔52的夾持塊51,夾持塊51通過螺釘與沉頭孔52配合固定于夾持裝置11上,通過調(diào)整螺釘在沉頭孔52固定的位置以適應(yīng)不同厚度的掩???。圖5所示為圖1中18部分放大結(jié)構(gòu)示意圖,夾持塊51上具有沉頭孔52,沉頭孔52的設(shè)定可以適應(yīng)不同厚度的掩???。優(yōu)選地,夾持裝置還包括氣動組件53,氣動組件53與支撐板120通過螺絲固定,氣動組件與導(dǎo)向桿55連接,導(dǎo)向板54固定于導(dǎo)向桿55的一端,夾持塊51通過沉頭孔52與螺釘配合固定于導(dǎo)向板55,夾持掩??驎r氣動組件53驅(qū)動導(dǎo)向桿55使夾持塊51向與氣動組件53相反的方向運動,使掩???0能夠移動到夾持塊下夾板512的上側(cè)面與支撐邊120的下側(cè)面之間的空間內(nèi),然后通過氣動組件53驅(qū)動夾持塊51向靠近氣動組件53的方向運動,使夾持塊側(cè)板511與支撐板120的側(cè)邊以及掩???0的外側(cè)邊接觸,如此夾持裝置11通過夾持塊51將掩???0夾持固定??梢詫A持裝置11的氣動組件53替換成與支撐邊120固定連接的固定塊,通過手動使夾持塊51將掩??驃A持固定到夾持裝置11。
      [0057]根據(jù)本實用新型的實施例,如圖1所示的掩??虻陌徇\裝置10,其結(jié)構(gòu)為:
      [0058]橫梁14的兩個側(cè)面對稱的固定有四個鉸鏈座16 ;
      [0059]支撐機構(gòu)12包括四個支撐邊和四個鉸鏈座16,四個支撐邊12組成兩組對邊,一組對邊由兩個支撐邊120組成,另一組對邊由兩個支撐邊121組成,四個鉸鏈座對稱的固定于支撐機構(gòu)12的一組對邊,圖1中四個鉸鏈座16固定于由支撐邊120組成的一組對邊上;
      [0060]夾持機構(gòu)包括四個夾持裝置11,四個夾持裝置11對稱的固定于支撐機構(gòu)12固定有鉸鏈座16的一組對邊,如圖1所示,四個夾持裝置11對稱的固定于兩個支撐邊120上;
      [0061]連接機構(gòu)包括四個連桿13,四個連桿13的一端分別固定于橫梁14上的四個鉸鏈座16,另一端分別固定于支撐機構(gòu)12上對應(yīng)的四個鉸鏈座16。
      [0062]如圖f圖4所示,橫梁14為中空結(jié)構(gòu),在保證橫梁具有足夠強度的前提下,將其設(shè)置成中空結(jié)構(gòu),使其重量減輕,可以減小相應(yīng)平臺的負(fù)擔(dān),同時也節(jié)省原材料。
      [0063]如圖廣4所示,夾持裝置11與支撐邊120為一體成型結(jié)構(gòu)或通過固定機構(gòu)(如螺釘)固定于支撐邊120上,橫梁14上的鉸鏈座16與橫梁16為一體成型結(jié)構(gòu)或通過固定機構(gòu)(如螺絲或螺栓等)固定于橫梁;支撐邊120上的鉸鏈座16與支撐邊120為一體成型結(jié)構(gòu)或通過固定機構(gòu)(如螺絲或螺栓等)固定于支撐邊120。
      [0064]圖2所示為通過圖1所示的搬運裝置搬運掩??虻慕Y(jié)構(gòu)示意圖,圖6所示為圖2中21部分放大結(jié)構(gòu)示意圖,掩???0通過夾持機構(gòu)的四個夾持裝置11固定于支撐機構(gòu)12,通過夾持裝置11的夾持塊51將掩???0的下側(cè)面托起,通過螺釘將夾持塊51固定于夾持裝置11。在如圖2所示搬運掩???0的過程中,與連桿13通過鉸鏈座16連接的支撐邊120因自身及掩???0的重力作用具有向中心運動的趨勢,因此對掩??虍a(chǎn)生一定的力,通過支撐邊121對支撐邊120的支撐,將支撐邊120對掩??虻牧D(zhuǎn)移到支撐邊121上,從而避免掩???0因受力而變形。
      [0065]根據(jù)本實用新型的一些實施例,如圖廣圖4所示,支撐機構(gòu)12為一體成型結(jié)構(gòu)或由分立的支撐邊連接而成。
      [0066]根據(jù)本實用新型的一些實施例,如圖廣圖4所示,支撐機構(gòu)12可以伸縮以適應(yīng)不同邊長尺寸的掩模框20,支撐機構(gòu)12可以設(shè)置成在兩組支撐邊(支撐邊120和支撐邊121)的中部均設(shè)置成伸縮結(jié)構(gòu),同時在橫梁14的兩個側(cè)面不同的位置對稱的設(shè)置鉸鏈座,以適應(yīng)不同長度尺寸和寬度尺寸的掩???0 ;也可以只在其中的一組對邊設(shè)置成伸縮結(jié)構(gòu),優(yōu)選地,將支撐邊121設(shè)置成伸縮結(jié)構(gòu),支撐邊120長度固定。
      [0067]當(dāng)支撐機構(gòu)12由分立的支撐邊連接而成時,也可以將支撐邊設(shè)置成固定尺寸,改變支撐邊121與支撐邊120固定連接的位置以適應(yīng)不同邊長尺寸的掩??颉?br> [0068]根據(jù)本實用新型的一些實施例,如圖11所示,傳送導(dǎo)軌15的側(cè)邊安裝有直線電機113,通過直線電機113可以自動控制橫梁14在傳送導(dǎo)軌15上滑行。
      [0069]根據(jù)本實用新型的一些實施例,如圖f圖6所示,連桿13的兩端設(shè)有通孔131,連桿13兩端通過緊固件與鉸鏈座連接,連桿13與支撐邊12上鉸鏈座16連接的一端的通孔為長條通孔131,將連桿13與支撐邊120上的鉸鏈座16連接的通孔設(shè)為長條通孔131,長條通孔131的設(shè)置可以使連桿13相對緊固件沿長條通孔131進行滑動,使夾持塊51固定掩???0步驟的操作更加方便。緊固件可以為雙頭螺栓或螺絲與螺母的結(jié)合使用。
      [0070]根據(jù)本實用新型的實施例,如圖3所示的掩模框搬運裝置,其結(jié)構(gòu)為:
      [0071]橫梁14的兩個側(cè)面固定有三個鉸鏈座16,其中兩個鉸鏈座16對稱的固定于橫梁14的一側(cè)面,另一個鉸鏈座16固定于橫梁14另一側(cè)面的中部;
      [0072]支撐機構(gòu)12包括四個支撐邊,四個支撐邊組成兩組對邊,一組對邊由兩條支撐邊120組成,另一組對邊由支撐邊121組成,支撐機構(gòu)12包括三個鉸鏈座16,三個鉸鏈座16固定于支撐機構(gòu)12的一組對120上,一條支撐邊上對稱的固定有兩個鉸鏈座16,另一條支撐邊的中部固定另一個鉸鏈座16 ;
      [0073]夾持機構(gòu)包括四個夾持裝置11,四個夾持裝置11對稱的固定于支撐機構(gòu)12固定有鉸鏈座16的一組對邊的支撐邊120上;連接機構(gòu)包括三個連桿13,三個連桿13的一端分別固定于橫梁14上的三個鉸鏈座16,另一端分別固定于支撐邊120上對應(yīng)的三個鉸鏈座
      12ο
      [0074]根據(jù)本實用新型的另一實施例,如圖4所示的掩??虬徇\裝置,其結(jié)構(gòu)為:
      [0075]橫梁14的兩個側(cè)面對稱的固定有四個鉸鏈座16 ;
      [0076]支撐機構(gòu)12包括四個支撐邊和四個鉸鏈座16,四個支撐邊組成兩組對邊,一組對邊由兩條支撐邊120組成,另一組對邊由支撐邊121組成,四個鉸鏈座16對稱的固定于支撐邊120上;
      [0077]夾持機構(gòu)包括三個夾持裝置11,三個夾持裝置11固定于支撐機構(gòu)固定有鉸鏈座16的一組對邊的支撐邊120上,其中一條支撐邊120上對稱的固定兩個夾持裝置11,另一條支撐邊120的中部固定另一個夾持裝置11 ;
      [0078]連接機構(gòu)包括四個連桿13,四個連桿13的一端分別固定于橫梁14上的四個鉸鏈座,另一端分別固定于支撐機構(gòu)12上對應(yīng)的四個鉸鏈座16。
      [0079]根據(jù)本實用新型的實施例,如圖7所示,掩??虻陌徇\裝置10還包括支撐平臺7,支撐平臺7包括支撐平臺基架71、支撐平臺底座72、支撐平臺滑動組件73、支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)74、支撐平臺定位機構(gòu)75,支撐平臺基架71固定于支撐平臺底座72上,支撐平臺滑動組件73、支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)74、支撐平臺定位機構(gòu)75均設(shè)置在支撐平臺基架71上。
      [0080]參考圖7、圖8,支撐平臺滑動組件由若干鋼珠滾輪73按一定分布方式構(gòu)成,鋼珠滾輪73的分布方式與掩???0的外形相適應(yīng),支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)74設(shè)置在支撐平臺基架71的兩側(cè),支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)74與掩???0的外形相適應(yīng),支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)74的內(nèi)側(cè)還設(shè)置有導(dǎo)向滑動機構(gòu)741,導(dǎo)向滑動機構(gòu)是滾珠;支撐平臺定位機構(gòu)75設(shè)置在支撐平臺基架71上,通過支撐平臺定位機構(gòu)75使掩???0裝載在支撐平臺7上的確定位置,使夾持機構(gòu)能夠夾持掩???0的確定位置。
      [0081]如圖11所示,為掩??虻陌徇\裝置在具體操作基臺上搬運掩??虻倪^程示意圖,此操作基臺主要用于OLED蒸鍍用掩模板的制作以及掩模組件組裝的操作平臺,其包含測量、焊接、組裝、激光切割等功能,圖11中,111為掩??蜉d臺,112為夾持模塊,113為直線電機,114為基臺,1141為基臺支撐基架(通常為金屬或金屬合金,優(yōu)選為方鋼架),1142為花崗巖平臺(掩模板組裝以及掩模板制作的精度要求較高,所以選擇較穩(wěn)定的花崗巖作為操作平臺),115為傳送導(dǎo)軌支撐(傳送導(dǎo)軌支撐115主要用于安裝傳送導(dǎo)軌以及直線電機113等裝置,制作掩模板開口的激光切割頭裝置也可以間接安裝于傳送導(dǎo)軌支撐上,激光切割裝置在切割掩模板開口時精度和穩(wěn)定性要求較高,所以傳送導(dǎo)軌支撐115的材質(zhì)優(yōu)選為花崗巖),傳送導(dǎo)軌15安裝于傳送導(dǎo)軌支撐115上側(cè)面,安裝在花崗巖平臺1142上的若干夾持模塊112組成繃網(wǎng)組件(掩??蜉d臺111安裝在繃網(wǎng)組件圍成的中間區(qū)域的花崗巖平臺1142上,支撐平臺7通過支撐平臺底座72安裝固定于花崗巖平臺1142的上側(cè)面,支撐平臺基架71的內(nèi)部為全鏤空結(jié)構(gòu),不會對繃網(wǎng)組件的運行帶來干擾。掩模框搬運裝置10的夾持機構(gòu)將掩??驈闹纹脚_7上將掩???0夾持固定,由橫梁承載著掩???0沿傳送導(dǎo)軌15移動到掩??蜉d臺111上方。
      [0082]圖12所示為為掩模框載臺結(jié)構(gòu)示意圖,掩??蜉d臺基架1111、調(diào)平機構(gòu)1112以及掩??虺休d板1113構(gòu)成掩模框載臺111的基本結(jié)構(gòu)(掩??蜉d臺可僅由此構(gòu)成)。在掩模框載臺的另一些實施例中,掩模框載臺111還可以包括掩??蜉d臺定位機構(gòu)1114和頂起機構(gòu)1115,圖13所示為掩模框載臺通過頂起機構(gòu)1115裝載掩??虻囊环N實施例示意圖,圖14為圖13中130部分放大示意圖。以下是結(jié)合圖12、圖13、圖14,對掩??蜉d臺111結(jié)構(gòu)的詳細(xì)描述。
      [0083]所述掩模框載臺基架1111由底板11111及設(shè)置在底板11111上的側(cè)板11112構(gòu)成,其用于安裝調(diào)平機構(gòu)1112 ;調(diào)平機構(gòu)1112由4個垂直設(shè)置在所述掩??蜉d臺基架底板11111上的電動執(zhí)行器11121及設(shè)置在每個電動執(zhí)行器11121上方的調(diào)平板11122構(gòu)成;掩??虺休d板1113設(shè)置在調(diào)平機構(gòu)1112的調(diào)平板11122上方,通過配合調(diào)節(jié)調(diào)平機構(gòu)1112的電動執(zhí)行器11121可以調(diào)整設(shè)置在調(diào)平板11122上方掩模框承載板1113的水平位置,掩模框承載板1113用于直接承載掩???0。在本實用新型一些實施例中,構(gòu)成調(diào)平機構(gòu)1112的電動執(zhí)行器11121通過浮動接頭(圖中未示出)與調(diào)平板11122連接,電動執(zhí)行器11121為調(diào)平機構(gòu)1112提供動力,調(diào)平板11122作為調(diào)平機構(gòu)1112的外接口 ;每個電動執(zhí)行器11121兩側(cè)還均設(shè)置有一個調(diào)平導(dǎo)向裝置11123,通過電動執(zhí)行器11121兩側(cè)調(diào)平導(dǎo)向裝置11123的配合作用,可以有效的控制調(diào)平機構(gòu)1112上調(diào)平板11122的運動方向。
      [0084]為了便于將掩???0裝載在掩??蜉d臺111上,掩??蜉d臺111設(shè)置有頂起機構(gòu)1115,頂起機構(gòu)1115由4個垂直設(shè)置在基架1111上的升降驅(qū)動裝置11151與2個水平設(shè)置在升降驅(qū)動裝置11151上方的頂板11152構(gòu)成,頂板11152通過升降驅(qū)動裝置11151的運動完成上升或下降動作,掩??虺休d板1113上設(shè)置有與頂起機構(gòu)1115相配合的通孔結(jié)構(gòu),掩??虺休d板1113上表面設(shè)置有與頂起機構(gòu)1115的頂板11152相適應(yīng)的凹陷結(jié)構(gòu),使得頂板11152下降到最低點時,頂板11152的上表面不高于掩??虺休d板1113的上表面。另外,構(gòu)成頂起機構(gòu)1115的頂板11152需要在垂直方向上進行運動,即升降驅(qū)動裝置11151只能驅(qū)動頂板11152在垂直方向上運動,為了使頂起機構(gòu)1115能夠按預(yù)設(shè)路徑運動,頂起機構(gòu)1115的每一個升降驅(qū)動裝置11151側(cè)邊配套設(shè)置有頂起導(dǎo)向裝置11153,頂起機構(gòu)1115的升降驅(qū)動裝置11151的上端通過浮動接頭(圖中未示出)與頂板11152連接。
      [0085]掩??蜉d臺111還包括定位機構(gòu)1114,定位機構(gòu)由氣缸組件11142及定位塊11141構(gòu)成,定位機構(gòu)1114設(shè)置在掩??虺休d板1113或頂起機構(gòu)1115的頂板11151上,掩???0通過定位機構(gòu)1114定位在掩??虺休d板1113上的確定位置,從而保證掩模板組件組裝過程的穩(wěn)定性。如圖12、13所示,掩??虺休d板的1113的兩相鄰邊各設(shè)置有兩個氣缸組件11142,在沒有設(shè)置氣缸組件11142另兩相鄰邊均設(shè)置有定位塊11141,本實施例中,定位塊11141為長條狀結(jié)構(gòu),設(shè)置在掩??虺休d板1113或頂起機構(gòu)1115的頂板11152上。掩???0置于掩??虺休d板1113上后,定位機構(gòu)1114的氣缸組件11142對掩模框20提供一定的壓力,使得掩???0頂緊定位機構(gòu)1115的定位塊11141,從而達到定位機構(gòu)1115對掩模框20固定,使得掩模框20定位在掩??虺休d板1113上的確定位置。
      [0086]在本實用新型中,頂起機構(gòu)1115的頂板11152通過升降驅(qū)動裝置11151的運動做上升或下降動作,從而實現(xiàn)置于頂板11152上方掩???0裝載到載臺的掩模框承載板1113上。考慮到頂起機構(gòu)1115的作用本質(zhì),作為本實用新型的另一些實施例,本實用新型中頂起機構(gòu)1115可以包括超過4個升降驅(qū)動裝置11151或超過2個水平設(shè)置在升降驅(qū)動裝置11151上方的頂板11152,升降驅(qū)動裝置11151可以采用氣缸或電缸驅(qū)動。在本實用新型的另一些實施例中,由于掩???0的尺寸較大,調(diào)平機構(gòu)1112采用的電動執(zhí)行器的數(shù)量亦可以超過4個。
      [0087]本實用新型中,頂起機構(gòu)1115的升降驅(qū)動裝置11151與頂板11152之間、調(diào)平機構(gòu)1112的電動執(zhí)行器11121與調(diào)平板11122之間均采用浮動接頭,活動結(jié)構(gòu)的接頭有利于機械調(diào)節(jié)過程。
      [0088]參考圖?Γ圖14,將掩???0裝載到掩模框載臺111上的流程為:
      [0089]a、待裝載的掩???,20在裝載到支撐平臺7上確定位置,如圖9所示;
      [0090]b、夾持塊51夾持掩???0并將掩模框20提起通過橫梁14承載沿傳送導(dǎo)軌15離開支撐平臺111,如圖10、圖11所示;
      [0091]C、通過手動推送或電動控制,橫梁14在傳送導(dǎo)軌15上滑動到掩??蜉d臺111上方;
      [0092]d、掩模框載臺111頂起機構(gòu)1115的頂板11152在升降驅(qū)動裝置11151的驅(qū)動下上升至一定高度(接觸或靠近掩???0的下表面),參考圖12 ;
      [0093]e、釋放夾持塊51,頂起機構(gòu)1115的頂板11152在升降驅(qū)動裝置11151的驅(qū)動下下降,使得掩???0由掩??虺休d板1113支撐,然后將橫梁14通過手動控制或電動控移到傳送導(dǎo)軌15的端部附近。
      [0094]本實用新型提供的掩??虻陌徇\裝置,通過固定于支撐機構(gòu)的夾持機構(gòu)(如圖f圖4中所示的夾持裝置)將掩模框20夾持,連桿13將支撐機構(gòu)與承載裝置14連接,承載裝置14在傳送導(dǎo)軌15上滑行將沉重的掩???0搬到或搬離相應(yīng)的平臺(如焊接平臺、掩模組件檢測平臺、掩模板組裝平臺),很好的解決了因掩模框比較沉重人工搬運困難的問題,提尚了生廣效率。
      [0095]盡管參照本實用新型的多個示意性實施例對本實用新型的【具體實施方式】進行了詳細(xì)的描述,但是必須理解,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計出多種其他的改進和實施例,這些改進和實施例將落在本實用新型原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言,在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi),可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進,而不會脫離本實用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進,其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
      【權(quán)利要求】
      1.一種掩模框的搬運裝置,包括夾持機構(gòu)、支撐機構(gòu)、連接機構(gòu)、承載機構(gòu)以及傳送機構(gòu),其特征在于: 所述夾持機構(gòu)固定于所述支撐機構(gòu)上,所述支撐機構(gòu)通過所述連接機構(gòu)與所述承載機構(gòu)連接,所述承載機構(gòu)通過所述傳送機構(gòu)傳送固定于所述夾持機構(gòu)上的所述掩???; 所述夾持機構(gòu)包括至少三個夾持裝置,所述支撐機構(gòu)包括至少三個支撐邊,所述連接機構(gòu)包括至少三個連桿,所述承載機構(gòu)、所述支撐機構(gòu)分別包括至少三個鉸鏈座,每個所述連桿的一端與所述承載機構(gòu)上的一個所述鉸鏈座連接,另一端與所述支撐機構(gòu)上對應(yīng)的所述鉸鏈座連接。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩??虻陌徇\裝置,其特征在于:所述傳送機構(gòu)為兩條平行的傳送導(dǎo)軌,所述承載機構(gòu)為橫梁,所述橫梁的兩端安裝有滑塊,所述滑塊可以在所述傳送導(dǎo)軌上滑動。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模框的搬運裝置,其特征在于:所述夾持裝置包括設(shè)有沉頭孔的夾持塊,所述夾持塊通過螺釘與所述沉頭孔配合固定于所述夾持裝置上,通過調(diào)整所述螺釘在所述沉頭孔固定的位置以適應(yīng)不同厚度的所述掩???。
      4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的掩??虻陌徇\裝置,其特征在于: 所述橫梁的兩個側(cè)面對稱的固定有四個所述鉸鏈座; 所述支撐機構(gòu)包括四個所述支撐邊和四個所述鉸鏈座,四個所述支撐邊組成兩組對邊,四個所述鉸鏈座對稱的固定于所述支撐機構(gòu)的一組對邊; 所述夾持機構(gòu)包括四個所述夾持裝置,四個所述夾持裝置對稱的固定于所述支撐機構(gòu)固定有所述鉸鏈座的一組對邊; 所述連接機構(gòu)包括四個所述連桿,四個所述連桿的一端分別固定于所述橫梁上的四個所述鉸鏈座,另一端分別固定于所述支撐機構(gòu)上對應(yīng)的四個所述鉸鏈座。
      5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的掩??虻陌徇\裝置,其特征在于:所述支撐機構(gòu)為一體成型結(jié)構(gòu)或由分立的支撐邊連接而成。
      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩??虻陌徇\裝置,其特征在于:所述支撐機構(gòu)可以伸縮以適應(yīng)不同邊長尺寸的所述掩???。
      7.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的掩??虻陌徇\裝置,其特征在于:所述傳送導(dǎo)軌的側(cè)邊安裝有直線電機,通過所述直線電機可以自動控制所述橫梁在所述傳送導(dǎo)軌上滑行。
      8.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的掩??虻陌徇\裝置,其特征在于:所述連桿的兩端設(shè)有通孔,所述連桿兩端緊固件與所述鉸鏈座連接,所述連桿與所述支撐機構(gòu)上所述鉸鏈座連接的一端的所述通孔為長條通孔。
      9.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的掩模框的搬運裝置,其特征在于:所述掩??虻陌徇\裝置還包括支撐平臺,所述支撐平臺包括支撐平臺基架、支撐平臺底座、支撐平臺滑動組件、支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)、支撐平臺定位機構(gòu),所述支撐平臺基架固定于所述支撐平臺底座上,所述支撐平臺滑動組件、支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)、支撐平臺定位機構(gòu)均設(shè)置在所述支撐平臺基架上。
      10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩模框的搬運裝置,其特征在于:所述支撐平臺滑動組件由若干鋼珠滾輪按一定分布方式構(gòu)成,所述鋼珠滾輪的分布方式與所述掩??虻耐庑蜗噙m應(yīng),所述支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)置在所述支撐平臺基架的兩側(cè),所述支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)與所述掩模框的外形相適應(yīng),所述支撐平臺導(dǎo)向機構(gòu)的內(nèi)側(cè)還設(shè)置有導(dǎo)向滑動機構(gòu),所述導(dǎo)向滑動機構(gòu)是滾珠;所述支撐平臺定位機構(gòu)設(shè)置在所述支撐平臺基架上,通過所述支撐平臺定位機構(gòu)使所述掩??蜓b載在所述支撐平臺上的確定位置,使所述夾持機構(gòu)能夠夾持所述掩模框的確定位置。
      【文檔編號】B66F7/00GK204223806SQ201420559202
      【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月27日
      【發(fā)明者】魏志凌, 張煒平, 許鐳芳 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司
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