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      一種用于x熒光光譜儀的準(zhǔn)直器及一種x熒光光譜儀的制作方法

      文檔序號(hào):70159閱讀:833來源:國知局
      專利名稱:一種用于x熒光光譜儀的準(zhǔn)直器及一種x熒光光譜儀的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及光譜儀檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域,具體涉及波長(zhǎng)色散X熒光光譜分析儀中用于準(zhǔn)直平行光的準(zhǔn)直器及相應(yīng)的X熒光光譜儀。
      背景技術(shù)
      現(xiàn)有波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀由多個(gè)系統(tǒng)組成,而其中的光路系統(tǒng)和真空系統(tǒng)有相互重疊,真空系統(tǒng)要盡量將所有的光路包含在真空范圍內(nèi)以盡量減少衰減,光路系統(tǒng)需要將光管發(fā)出的X射線激發(fā)樣品后所發(fā)出的熒光傳遞到探測(cè)器。準(zhǔn)直器就是在光路系統(tǒng)中起準(zhǔn)直光線作用的重要部件。準(zhǔn)直器有兩類,一類是在樣品和晶體之間的準(zhǔn)直器,又稱一級(jí)準(zhǔn)直器,其作用是將樣品發(fā)射出的X射線熒光通過準(zhǔn)直器變?yōu)槠叫泄馐丈涞骄w,該準(zhǔn)直器又被稱為入射狹縫;在晶體和探測(cè)器之間的準(zhǔn)直器又稱二級(jí)準(zhǔn)直器,其作用是將晶體發(fā)射出的X射線熒光通過準(zhǔn)直器變?yōu)槠叫泄馐丈涞教綔y(cè)器,該準(zhǔn)直器又被稱為出射狹縫?,F(xiàn)有準(zhǔn)直器是在一塊狀材料上采用線切割的方式切割若干平行的用于放置鑰片(準(zhǔn)直片)的槽縫,槽縫寬度為0.1-0.12mm,加工鑰片的厚度為0.06mm,這樣槽縫寬度與鑰片厚度之間有0.04mm間隙,如不做任何其它加工,放入槽縫中的鑰片會(huì)向下滑動(dòng),影響準(zhǔn)直效果。于是裝配中常采用彎折的方式使準(zhǔn)直片變形,使其能固定在槽縫中間,但該方式對(duì)分光效果影響很大。

      發(fā)明內(nèi)容
      本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)新穎且準(zhǔn)直片不會(huì)變形的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器。
      本實(shí)用新型用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,包括一準(zhǔn)直器體和一準(zhǔn)直片組件,所述準(zhǔn)直片組件沿準(zhǔn)直器工作軸向安裝在準(zhǔn)直器體的芯部,外端面平齊,在準(zhǔn)直器體外側(cè)由緊定螺釘緊固;所述的準(zhǔn)直片組件包括多片疊加設(shè)置的準(zhǔn)直片,每相鄰兩準(zhǔn)直片之間位于軸向邊的兩邊沿部分由墊片間隔,墊片與準(zhǔn)直片之間粘接。
      進(jìn)一步,所述準(zhǔn)直器體的芯部為長(zhǎng)方體深槽,所述準(zhǔn)直片組件外型為匹配的長(zhǎng)方體,長(zhǎng)方體的長(zhǎng)軸方向?yàn)闇?zhǔn)直器的工作軸向。
      兩墊片分布在每相鄰兩準(zhǔn)直片之間的兩長(zhǎng)邊邊沿。
      墊片的外邊端與準(zhǔn)直片的外邊端對(duì)齊。
      所述墊片長(zhǎng)度與所述準(zhǔn)直片長(zhǎng)度相同。
      所述準(zhǔn)直片尺寸為長(zhǎng)30 100mm、寬25 30_、厚0.08 0.80_。
      所述塾片尺寸為長(zhǎng)30 100mm、寬I 6臟、厚0.08 0.80臟。
      本實(shí)用新型另一目的在于提供一種X熒光光譜儀,其包括樣品室、光閘板、中間板、真空測(cè)量室、裝設(shè)在一機(jī)箱內(nèi)的X光管、若干個(gè)連接有探測(cè)器的固定元素道分光器組件、若干個(gè)連接在分光器上的一次準(zhǔn)直器,其特點(diǎn)是所述一次準(zhǔn)直器為前述結(jié)構(gòu)的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器。[0012]采用以上設(shè)計(jì),本實(shí)用新型準(zhǔn)直器中不存在現(xiàn)有技術(shù)中的槽縫,因此沒有準(zhǔn)直器片變形顧慮的存在,能夠保證準(zhǔn)直效果;另一方面,該準(zhǔn)直片組件生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單,且其自成一體也便于安裝。本實(shí)用新型由于設(shè)置了疊加狀的準(zhǔn)直片組件,準(zhǔn)直效果明顯,提高了有效光束照射至晶體和探測(cè)器的效率,分辨率高,計(jì)數(shù)率高。


      圖1為X熒光光譜儀測(cè)量室結(jié)構(gòu)圖;
      圖2為準(zhǔn)直器外部結(jié)構(gòu)示意圖;
      圖3為準(zhǔn)直片組件的放大結(jié)構(gòu)圖;
      圖4為準(zhǔn)直片組件中,準(zhǔn)直片與墊片的結(jié)構(gòu)關(guān)系圖。
      具體實(shí)施方式
      說明下面結(jié)合附圖具體說明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
      ,圖中相同的結(jié)構(gòu)和功能的器件已用相同的附圖標(biāo)記標(biāo)出,附圖只是用于幫助解釋本實(shí)用新型,并不代表本實(shí)用新型范圍的限制,同時(shí),附圖并未按比例畫出。
      在介紹X熒光光譜儀光路系統(tǒng)的準(zhǔn)直器之前,先介紹一下X熒光光譜儀測(cè)量室的結(jié)構(gòu)。如圖1所示,光譜儀測(cè)量室包括可更換樣品的樣品室1、光閘板2、中間板3、真空測(cè)量室4、裝設(shè)在一機(jī)箱內(nèi)的X光管5、若干個(gè)連接有探測(cè)器的固定元素道分光器組件6、若干個(gè)連接在分光器上的一次準(zhǔn)直器7。真空測(cè)量室4上部與樣品室I連接,底部與X光管5連接;若干個(gè)一次準(zhǔn)直器7 —端與分光器組件6連接,另一端與真空測(cè)量室4的側(cè)部連接;中間板3上端與光閘板2連接,下端安裝在真空測(cè)量室中部臺(tái)階位置;光閘板2位于樣品室I入口。
      一次準(zhǔn)直器7,如圖2所示,主體包括一準(zhǔn)直片組件71和準(zhǔn)直器體72,準(zhǔn)直片組件71安裝在準(zhǔn)直器體72的芯部,在準(zhǔn)直器體外側(cè)由緊定螺釘73緊固。
      準(zhǔn)直器體72芯部為長(zhǎng)方體深槽,準(zhǔn)直器的工作軸向?yàn)殚L(zhǎng)方體的長(zhǎng)軸方向,準(zhǔn)直片組件71外型也為匹配的長(zhǎng)方體,準(zhǔn)直器體72芯部尺寸較準(zhǔn)直片組件71尺寸略大,準(zhǔn)直片組件71沿長(zhǎng)軸方向放置在準(zhǔn)直器體72芯部?jī)?nèi),端頭與準(zhǔn)直器體72前端端面對(duì)齊,在準(zhǔn)直器體72外側(cè)壁上加平頭緊定螺釘73將兩者緊固在一起。
      本實(shí)用新型中,技術(shù)關(guān)鍵就在于所述的準(zhǔn)直片組件71。如圖3所示,準(zhǔn)直片組件71是由多片準(zhǔn)直片711疊加構(gòu)成,在每相鄰兩準(zhǔn)直片711之間的兩長(zhǎng)邊邊沿都由墊片712相隔,將準(zhǔn)直片711疊加至一定厚度。墊片712是用一種不銹鋼(或其它材質(zhì))的薄片,厚度在0.08 0.80mm,用電化學(xué)或激光方法切割成一種長(zhǎng)30 100mm、寬I 6mm、厚0.08
      0.80mm的薄片,墊在兩個(gè)準(zhǔn)直片中間,將準(zhǔn)直片711分隔性地累加至合適厚度,準(zhǔn)直片組件71的上下兩面均為準(zhǔn)直片711。準(zhǔn)直片711即為鑰片,是切割成一種長(zhǎng)30 100mm、寬25 30mm、厚0.08 0.80mm的薄片。準(zhǔn)直片711與墊片712長(zhǎng)度相同,但寬度不同,需要兩個(gè)等厚度的墊片712分配在準(zhǔn)直片711兩長(zhǎng)邊的邊沿。因此,墊片墊在準(zhǔn)直片之間的方法是:如圖4所示,取兩片墊片712墊在兩準(zhǔn)直片711之間并分布在長(zhǎng)方形準(zhǔn)直片711的兩長(zhǎng)邊邊沿,墊片712的外邊端與準(zhǔn)直片711的外邊端對(duì)齊(圖4中為展示疊加關(guān)系,沒有將短端對(duì)齊,而是相互錯(cuò)開了一定距離,實(shí)際中應(yīng)該是對(duì)齊的,如圖3所示),圖4所示的墊片712露在外側(cè)的短端也與準(zhǔn)直器片711的短端對(duì)齊,在準(zhǔn)直器片711與墊片712之間采用膠水粘接。這樣,從外型上看,準(zhǔn)直片組件71是一種長(zhǎng)30 100mm、寬25 30mm、厚為若干的長(zhǎng)方體,如圖3所示,形成新型的一體化的準(zhǔn)直片組件71。
      按前述描述將準(zhǔn)直片組件71裝配到準(zhǔn)直器體72中并由緊定螺釘73緊固,形成本實(shí)用新型的X熒光光譜儀準(zhǔn)直器。該準(zhǔn)直器7可替代原有一次準(zhǔn)直器按原有方式組裝到圖1所示的X熒光光譜儀結(jié)構(gòu)中。因此,裝配有該新型準(zhǔn)直器7的X熒光光譜儀也屬于本實(shí)用新型。
      上述僅是例舉了一個(gè)具體實(shí)施方式
      ,其中各部件的結(jié)構(gòu)、連接方式等都是可以有所變化的,凡是在本實(shí)用新型技術(shù)方案的基礎(chǔ)上進(jìn)行的等同變換和改進(jìn),均不應(yīng)排除在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之外。
      權(quán)利要求
      1.一種用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,包括一準(zhǔn)直器體和一準(zhǔn)直片組件,其特征在于:所述準(zhǔn)直片組件沿準(zhǔn)直器工作軸向安裝在準(zhǔn)直器體的芯部,外端面平齊,在準(zhǔn)直器體外側(cè)由緊定螺釘緊固;所述的準(zhǔn)直片組件包括多片疊加設(shè)置的準(zhǔn)直片,每相鄰兩準(zhǔn)直片之間位于軸向邊的兩邊沿部分由墊片間隔,墊片與準(zhǔn)直片之間粘接。
      2.根據(jù)權(quán)利要求
      1所述的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,其特征在于:準(zhǔn)直器體的芯部為長(zhǎng)方體深槽,所述準(zhǔn)直片組件外型為匹配的長(zhǎng)方體,長(zhǎng)方體的長(zhǎng)軸方向?yàn)闇?zhǔn)直器的工作軸向。
      3.根據(jù)權(quán)利要求
      2所述的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,其特征在于:兩墊片分布在每相鄰兩準(zhǔn)直片之間的兩長(zhǎng)邊邊沿。
      4.根據(jù)權(quán)利要求
      1或2或3所述的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,其特征在于:墊片的外邊端與準(zhǔn)直片的外邊端對(duì)齊。
      5.根據(jù)權(quán)利要求
      4所述的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,其特征在于:所述墊片長(zhǎng)度與所述準(zhǔn)直片長(zhǎng)度相同。
      6.根據(jù)權(quán)利要求
      5所述的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,其特征在于:所述準(zhǔn)直片尺寸為長(zhǎng) 30 100mm、寬 25 30mm、厚 0.08 0.80mm。
      7.根據(jù)權(quán)利要求
      5所述的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,其特征在于:所述墊片尺寸為長(zhǎng) 30 100mm、寬 I 6mm、厚 0.08 0.80mm。
      8.根據(jù)權(quán)利要求
      6所述的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器,其特征在于:所述墊片尺寸為長(zhǎng) 30 100mm、寬 I 6mm、厚 0.08 0.80mm。
      9.一種X突光光譜儀,包括樣品室、光閘板、中間板、真空測(cè)量室、裝設(shè)在一機(jī)箱內(nèi)的X光管、若干個(gè)連接有探測(cè)器的固定元素道分光器組件、若干個(gè)連接在分光器上的一次準(zhǔn)直器,其特征在于:所述一次準(zhǔn)直器為權(quán)利要求
      1至8任一結(jié)構(gòu)的用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器。
      專利摘要
      本實(shí)用新型是一種用于X熒光光譜儀的準(zhǔn)直器及一種X熒光光譜儀,該準(zhǔn)直器包括一準(zhǔn)直器體和一準(zhǔn)直片組件,準(zhǔn)直片組件安裝在準(zhǔn)直器體的芯部,外端面與其平齊,在準(zhǔn)直器體外側(cè)用緊定螺釘緊固;準(zhǔn)直片組件包括多片疊加設(shè)置的準(zhǔn)直片,每相鄰兩準(zhǔn)直器片之間的外沿部分由墊片間隔,墊片和準(zhǔn)直片粘結(jié)而形成一體化準(zhǔn)直片組件。本實(shí)用新型由于設(shè)置了疊加狀的準(zhǔn)直片組件,準(zhǔn)直效果明顯,提高了有效光束照射至晶體和探測(cè)器的效率,分辨率高,計(jì)數(shù)率高。
      文檔編號(hào)G21K1/02GKCN203013282SQ201220729398
      公開日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年12月26日
      發(fā)明者于洋 申請(qǐng)人:北京邦鑫偉業(yè)技術(shù)開發(fā)有限公司導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan
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