專利名稱：含有氨基丙烯酸酯中和的粘合劑的帶水光刻膠的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及那些用于制造印刷電路板的光刻膠，更具體地是涉及那些帶水的光刻膠。
將可感光成象的組合物用作形成印刷電路、印刷板、焊劑掩模等的抗蝕劑，已經(jīng)使用了一段時間。最早采用的光刻膠是帶有機溶劑的，并可用有機溶劑顯影。水液可顯影的光刻膠的開發(fā)，在減少工作場所和周圍環(huán)境中的溶劑散發(fā)方面標志著一種進步。人們對減少來自工作場所和周圍環(huán)境的有機溶劑散發(fā)的不斷強調(diào)促進了對于帶水光刻膠的研究，這類光刻膠是配制成水溶液，并以水溶液形式使用。
美國專利U.S.5，045，435敘述了一種可在堿性水質溶液內(nèi)顯影的帶水光刻膠組合物，一并附在此作為參考。該組合物包括多官能團單體，光引發(fā)劑和不溶于水的羧化的丙烯酸共聚物膠乳。為了使該組合物穩(wěn)定并調(diào)節(jié)其粘度，該專利指出用如氨、其他的胺或氫氧化鈉的一種堿以中和至少25%的膠乳聚合物。
對于一些可感光成象組合物，例如美國專利5，045，435中所述的，其中是使用氨、伯胺、仲胺或叔胺來中和其粘合劑的羧酸官能度的，試圖在干燥過程中將胺類去除。任何殘余的堿會產(chǎn)生很大的水敏感性。結果，使用這些材料的干燥窗就很窄。此外胺類的所需揮發(fā)性可能造成潛在的環(huán)境污染問題，也就是對使用帶水涂覆層的首先要求(無害，非散發(fā)性)作為讓步。而且當“游離胺”是用來起中和作用時，會與銅表面形成很強的螯合鍵，造成了反應活性上的各種問題，產(chǎn)生了殘余物，因而也就產(chǎn)生了蝕刻阻礙的問題。
根據(jù)本發(fā)明，一種帶水的可感光成象組合物由水液組合物所組成，它包含(A)約30-80重量%的其酸值為約40-250的膠乳粘合劑聚合物;(B)約15-50重量%的α，β-乙烯鏈基的不飽和單體，(但下述的氨基丙烯酸酯(D)除外)用來中和上述粘合劑聚合物(A)的酸官能度;(C)約0.1-25重量%的能產(chǎn)生自由基的光引發(fā)劑或光引發(fā)化學物系;(D)約0.1-20重量%的某種氨基丙烯酸酯，用以中和膠乳粘合劑聚合物的約1-40摩爾%的酸官能度;(E)可高達約40重量%的另一種中和用的堿和/或聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑，其量應足以使此可感光成象組合物作為一種水質乳狀液而穩(wěn)定存在。所述的重量百分數(shù)都是基于A至E各組分的總重量而言。
下面詳細地對本發(fā)明的較佳實施方案進行說明。
用于本發(fā)明可感光成象組合物的膠乳粘合劑聚合物，一般是通過α，β-不飽和單體的乳液聚合來制備。要采用具有足夠酸功能性單體，以提供約40-250，最好不低于80的酸值。美國專利3，929，743中有典型的乳液聚合步驟和幾個合適乳狀液的例子，其內(nèi)容結合在本發(fā)明中以作參考。
粘合劑聚合物的其余酸官能度由具有下述通式的單體來提供CH2＝CR1-COO-R2-O-SO3H，CH2＝CR1-CONH-R2-O-SO3H，CH2＝CR1-COOH，CH2＝R1-COO-R2-OOC-R3-COOH，CH2＝CR1-COO-R2-O-PO3H2，CH2＝CR1-CONH-R2-O-PO3H2，和CH2＝CR1-CO-NH-(R4)q-COOH，其中R1是H或Me，R2是C1-C6亞烷基，R3是C1-C6亞烷基或亞苯基，R4是CH2或CHOH，可以相同或不同，q＝1至6。
適用的酸官能性單體的一些具體例子為丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸、2-甲基丙烷磺酸、2-丙烯酸、2-甲基-2-磺乙基酯、2-羥乙基丙烯酰磷酸酯，2-羥丙基丙烯酰磷酸酯、2-羥基-α-丙烯酰磷酸酯等。這類酸官能性單體的一種或多種可用于形成該粘合劑聚合物。酸官能性單體可與如丙烯酸酯類的非酸官能性單體共聚，丙烯酸酯類例如丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸羥乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸-2-乙氧基乙酯、丙烯酸-叔丁酯、二丙烯酸-1，5-戊二醇酯、二丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸-1，3-丙二醇酯、二丙烯酸癸二醇酯、二甲基丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸-1，4-環(huán)己二醇酯、二丙烯酸-2，2-二羥甲基丙烷酯、二丙烯酸甘油酯、二丙烯酸三丙二醇酯、三丙烯酸丙三醇酯、二甲基丙烯酸-2，2-二(對-羥苯基)-丙烷酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二甲基丙烯酸的聚氧乙基-2，2-二(對-羥苯基)-丙烷酯、二甲基丙烯酸三乙二醇酯、三丙烯酸聚氧丙基三羥甲基丙烷酯、二甲基丙烯酸乙二醇酯、二甲基丙烯酸丁二醇酯、二甲基丙烯酸-1，3-丙烷二醇酯、三甲基丙烯酸-1，2，4-丁三醇酯、二甲基丙烯酸-2，2，4-三甲基-1，3-戊烷二醇酯、三甲基丙烯酸季戊四醇酯、二甲基丙烯酸-1-苯基1，2-乙烯酯，四甲基丙烯酸季戊四醇酯，三甲基丙烯酸三羧甲基丙烷酯、二甲基丙烯酸-1，5-戊二醇酯以及二甲基丙烯酸-1，4-苯二醇酯;苯乙烯以及取代的苯乙烯，諸如，2-甲基苯乙烯和乙烯基甲苯和乙烯基酯類，諸如，丙烯酸乙烯酯和甲基丙烯酸乙烯酯以提供所需的酸值。
為確保該可感光成象的組合物是能接觸成象，即能干燥到不粘著狀態(tài)，該膠乳粘合劑聚合物的玻璃轉化溫度(Tg)至少約60℃(用差示掃描熱量計(DSC)以20℃/分的速度測定)。該聚合物的重均分子量在約500-200，000之間(用聚苯乙烯作標準通過凝膠滲透色譜法(GPC)測定)。
粘合劑聚合物的至少約1摩爾%的酸官能度應是用氨基丙烯酸酯中和的。粘合劑聚合物的中和總量是粘合劑聚合物酸官能度的40摩爾%。最好是所有的酸官能度都用氨基丙烯酸酯中和，但也可用氨基丙烯酸酯和另一種堿如氨、伯胺、仲胺或叔胺的混合物來完成中和。適用于本發(fā)明的氨基丙烯酸酯具有通式如下A-X-B-CO-CR＝CH2式中A＝NZ2，其中這兩個Z可以相同或不同，Z是選自H、直鏈或支鏈C1-C8烷烴、C6-C12環(huán)狀的或二環(huán)的烷烴、苯基或C1-C4烷基取代的苯基、萘基或C1-C4單或二烷基取代的萘基，或者A＝N-哌啶子基、N-嗎啉代、N-甲基吡啶代、N-噻嗪代、N-亞乙基氨基或N-亞丙基氨基，B＝O，S或NZ(當X是(CmH2m-O)n時，B不存在)X＝直鏈或支鏈C1-C18烷烴基、C6-C12環(huán)烷基或二環(huán)烷基、苯基或C1-C4烷基取代的苯基、萘基或C1-C4單或二烷基取代的萘基或(CmH2m-O)n，其中m＝1-4，n＝1-20，R＝H或C1-C8烷基。
較佳的氨基丙烯酸酯是用叔氨基丙烯酸酯。另一些適用的還有丙烯酸-N，N-二乙氨基乙酯、甲基丙烯酸-N，N-二甲氨基乙酯、甲基丙烯酸-N，N-二甲氨基丙酯、丙烯酸N，N-二甲氨基丙酯、丙烯酸N，N-二甲氨基乙酯，但不只限于這些。
與前述用于中和粘合劑聚合物的胺類不一樣，氨基丙烯酸酯變成了光刻膠的永久部分，因而在干燥時就不會將其除去。避免了水敏感性，因為分子的丙烯酸部分與其它的單體(B)發(fā)生聚合作用，使氨基丙烯酸酯分子變成了不溶性的。
采用氨基丙烯酸酯的一個意外結果是消除了顯影劑殘余物和蝕刻阻滯現(xiàn)象。這既是由于氨基丙烯酸酯使得螯合鍵強度的降低，也是由于未曝光的光刻膠中的物料在顯影溶液中溶解度更大。
采用氨基丙烯酸酯的另一優(yōu)點，是其曝光時間較短。對好幾個體系，曝光時間甚至減半。氨基在光固化過程中其作用是一個有效的質子源。更短的曝光時間意味著每小時可以加工出更多的線路板。此外，較快的感光速度，可以只使用較少的較昂貴的光引發(fā)劑，從而使總的生產(chǎn)成本得以降低。
采用氨基丙烯酸酯的再一個優(yōu)點是其可涂覆性。氨基丙烯酸酯在帶水介質中有降低膠束尺寸的作用，從而能降低其粘度。粘度降低，就可少用一些水，從而可得到較高的固體含量(可高達60%)。作為一般規(guī)律，較之固體含量較低的材料而言，固體含量高的材料，其可涂覆性較佳，而且干燥時間也可縮短。此外，對固體含量較高的材料，可采用更濃稠的涂料，這就可減少針孔以及與厚度有關的其它涂層缺陷。
采用氨基丙烯酸酯的又一個意想不到的好處是減少了經(jīng)干燥后的光刻膠表面的粘著性。而加入丙烯酸酯單體一般則具有相反的效果。因為曝光時原圖與光刻膠表面密切地接觸，此表面必須是不粘的，否則會使原圖受到損壞。
還有一個未料到的優(yōu)點是去膠(去除未感光的光刻膠)時間要快得多，可減到原來的三分之一。
為了產(chǎn)生影象，這種負作用的可感光成象組合物除含有氨基丙烯酸酯類外，還含有可光聚合的單體(具體是α，β-乙烯鏈基的不飽和單體)，包括相當一部分的多官能團的單體。有用的單體包括那些上面列出的用以形成粘合劑聚合物的單體。特別適合的單體有多官能團的丙烯酸類單體，如二丙烯酸四乙二醇酯(TEGDA)、三丙烯酸三羥甲基丙烷酯(TMPTA)、丁二醇二甲基丙烯酸酯(BDDMA)和季戊四醇三丙烯酸酯(PETA)。該單體部分可包括水溶性的和非水溶性的單體;但其中非水溶性單體(在20℃水中的溶解度小于約0.3g/100ml)占有的比例應足夠高，例如高于20摩爾%，使得單體部分就整體而言是不溶于水的。
為了引發(fā)單體在曝光于光化幅射時的聚合作用，此可感光成象組合物含有適當?shù)墓庖l(fā)劑或光引發(fā)化學物系。適用的光引發(fā)劑有苯偶姻醚類、苯偶酰酮縮醇類、乙酰苯類、二苯酮類和與胺類有關的化合物。較佳的引發(fā)劑是噻噸酮類，如2-異丙基噻噸酮，特別是在連同一種胺一起使用時。
帶水可感光成象組合物最好含有一種聚硅氧烷，它可用環(huán)聚二甲基硅氧烷、聚醚改性聚二甲基硅氧烷、聚二甲基硅氧烷以及它們的混合物，較佳地用環(huán)聚二甲基硅氧烷和聚醚改性聚二甲基硅氧烷。聚硅氧烷類的用量相對于組分(A)至(D)的總量而言，約占0.1-10重量%。聚硅氧烷最好是用環(huán)聚二甲基硅氧烷和聚醚改性聚二甲基硅氧烷的混合物，二者的重量比約1∶9至9∶1。這種混合物的一個例子就是Dow Corning Q4-3667，它是聚醚改性聚二甲基硅氧烷與環(huán)聚二甲基硅氧烷80∶20的混合物。聚硅氧烷這類物質有助于使表面不發(fā)粘，這是接觸印刷所需要的。
適用的聚二甲基硅氧烷的通式為(CH3)3-[Si(Me)2-O]n-Si(CH3)3，其中n為0-4，000。
環(huán)聚二甲基硅氧烷的通式為-[Si(Me2)-O]n-，其中n為3至60。
聚醚改性聚二甲基硅氧烷的通式為
其中n＝0至1500，x＝1至2，000，y＝1至2000，R＝H或CH3，R′＝(CH2)0-5，以x和y為下標的基團的順序是隨機的。
聚硅甲烷的分子量可在很寬的范圍內(nèi)變動。低分子量的，其重均分子量為100-600Mw;高分子量的，其重均分子量為2，000-500，000Mw。
帶水可感光成象化合物最好還要含有一種表面活性劑，它是氟代脂肪族的氧乙烯基加成物，其用量是基于上述組分(A)至(D)的總重的約0.5-3.0重量%。這類表面活性劑的通式為CF3-(CF2)n-Y-Xm-Z;其中n＝0至20，Y＝SO2-N(C1-C10烷基)，X＝CH2-CH2-O或CH(CH3)-CH2-O，m＝0至20，Z＝CH2-CH2-OH或CH(CH3)-CH2-OH。
乳狀液的穩(wěn)定化至少有一部分是依靠著粘合劑聚合物的酸官能性部分的中和過程。美國專利申請08/199，037(本申請是此申請的部分繼續(xù)申請)指出，使用一種聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑是有助于乳狀液的穩(wěn)定化和粘度的調(diào)節(jié)。聚醚聚氨基甲酸乙酯增稠劑是含有至少兩個憎水鏈段和至少一個通過氨基甲酸乙酯鏈段將它們連接起來的親水聚醚鏈段的聚合物，該兩個憎水鏈段是憎水性異氰酸酯(其異氰酸酯官能度為2或大于2)的殘基。作為聯(lián)合增稠劑的嵌段聚合物可以有多種多樣的形式，包括ABA、(AB)n、星形聚合物(star polymers)等。聚醚鏈段是由聚氧化烯鏈段所形成，例如是由氧化丙烯和氧化乙烯等單體形成。為了得到足夠的親水性，一般聚氧化烯鏈段中至少有約3摩爾%是氧化乙烯的殘基。異氰酸酯殘基的憎水部分一般是一個烷基、環(huán)烷基或芳香部分。聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合的增稠劑以及其功能在例如A.J.M.Knoef與H.Slingerland“用于水液涂料系統(tǒng)的氨基甲酸乙酯聚合物類增稠劑”JOCCA，Sept.1992，pp335-338;J.H.Bieleman et al.Polymers Paint Color Journal 1986，V.176(4169)pp.450-460;A.J.Whitton與R.E.Van Doren Polymers Paint Colour Journal 1991，V.181(4286)pp.374-377中都有敘述。特別適用的聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑與其合成過程在授予Emmons等人的美國專利4，079，028，授予Hoy等人的美國專利4，426，485，授予Ruffner等人的美國專利4，743，698中都有敘述，其內(nèi)容結合在本專利中供參考。適用的市售聯(lián)合增稠劑有DSX 1514(Henkel)和QR 708(Rohm與Haas)。聯(lián)合增稠劑的用量，相對于組分(A)至(E)的總重量，約占1-40重量%(聯(lián)合增稠劑是組分(E)的全部或一部分)。
采用了聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑，粘合劑聚合物膠乳所需的中和一般就會少一些。
除了上述所列的這些組分外，還可使用少量的(一般占A-E組分總量的約10重量%)常用添加劑，包括消泡劑、抗氧化劑、染料、粘附促進劑、滑動助劑和其它表面張力改進劑。
在一個制備本發(fā)明帶水可感光成象組合物的較佳方法中，將那些與憎水相非常相容的組分(如光引發(fā)劑、抗氧化劑和染料)與單體組分摻和以形成一種單體基料，而將那些與水液相非常相容的組分(如消泡劑、中和劑、表面活性劑和聯(lián)合增稠劑)則與膠乳聚合物摻合以形成一聚合物混料。然后，將憎水相與聚合物混料再進行混合，得到水包憎水相的乳狀液。然后加入高沸點溶劑、表面活性劑包括流動助劑、表面張力改進劑和粘附促進劑。
最終獲得的帶水組合物一般含有約20-40重量%的固體。在這種帶水組合物中，粘合劑聚合物(氨基丙烯酸酯除外)占約10-30重量%，氨基丙烯酸酯占約0.05-10重量%，另外的單體占約3-20重量%，引發(fā)劑占約0.3-10重量%。
在使用聚硅氧烷的情況下，其用量占乳液化帶水組合物的0.02-1重量%。若使用氟化脂肪族的氧乙烯基加成物，其用量一般占乳液化帶水組合物的約0.06-2重量%。聯(lián)合增稠劑一般則占乳液化帶水可感光成象組合物的約0.5-20重量%。
涂覆本發(fā)明的組合物可以采用帶溶劑的可感光成象組合物技術領域中所使用的任何一種涂覆方法，例如滾涂法、浸涂法、噴涂法或簾涂法。
本發(fā)明組合物的涂覆，可按常規(guī)的方法進行，既可以液體組合物的形式直接涂到覆有金屬的空白層壓板上，亦可先涂到聚合物載片上使之形成一層干膜。涂覆以后，令組合物干燥以去除水分和揮發(fā)物如氨或胺、水等，從而使聚合物溶液在酸性或中性的水溶液介質中不溶解。由于可感光成象組合物干燥了，它就凝結成一層連續(xù)的膜。進行干燥時的溫度宜稍高，就既是為了加快去除水分、也是為了將氨或揮發(fā)性胺除去。干燥溫度最好為約90℃。
為形成干膜，將帶水組合物涂覆到有撓曲性的載片(即聚對苯二甲酸乙酯片)上，然后干燥去除水分和揮發(fā)物。再將一層保護膜(如聚乙烯膜)施加到此可感光成象組合物膜上，然后將此干膜卷繞成卷。在對可感光成象組合物膜進行干燥時，發(fā)現(xiàn)在某些情況下需要殘留一些水分，其含量約為可感光成象組合物膜中固體重量的1-2重量%。此殘留水分的作用是使該可感光成象組合物膜在層壓時能在形狀上與覆銅板基材的缺陷相貼合。
印刷電路板的制作加工按通常的方法進行。一種典型的步驟是，將一層可感光成象組合物施加在覆銅板的銅表面上，其方式或者是以液體組合物的形式，或者是以干膜轉移的形式。用光幅照通過合適的原圖對此可感光成象組合物層曝光。光幅照下的曝光使在曝光的區(qū)域中的單體發(fā)生聚合作用，產(chǎn)生了能抵抗顯影劑作用的交聯(lián)結構。然后，就在稀的1%碳酸鈉堿性水溶液中對組合物進行顯影處理。堿溶液就與粘合劑聚合物的羧酸基團反應而形成了鹽，從而使其成為可溶性而得以去除。經(jīng)此顯影處理后，用蝕刻劑將覆銅板上已將光刻膠除去的那些區(qū)域的銅除掉，從而形成一塊印刷電路。最后再用一合適的剝離劑將余下的光刻膠除去。
本發(fā)明不僅能提供帶水的一次成象光刻膠，并且同時也提供了焊劑掩模組合物。焊劑掩模在這里是指一種硬質的耐久性膜層，它至少能符合聯(lián)結電路研究所(Institute for Interconnecting Circuits)制定的技術規(guī)格/適應性標準一覽(Sumanary of Criteria for Qualification/Conformance)表12的IPC-SM-840B中所述抗磨性試驗的最低要求。為最終達到硬質耐久的要求，一般應使該組合物在曝光、顯影處理和板的加工制作后經(jīng)熱處理和/或紫外幅照處理是可以固化的。達到這種后固化(post-cure)目的的一種方法就是令所用的粘合劑聚合物在其主鏈中具有可被固化的游離-OH基，例如通過與氨基塑料樹脂如密胺/甲醛樹脂和尿素/甲醛樹脂進行交聯(lián)。另一辦法是可感光成象組合物可含有一種可相容的環(huán)氧樹脂和一種環(huán)氧樹脂用的固化劑。本發(fā)明的帶水照相成象組合物，發(fā)現(xiàn)在將其涂覆到銅基材上之后的貯存期限是很優(yōu)異的，在覆銅板上可保留達數(shù)天之久。
下面將通過具體的實施例對本發(fā)明作詳細敘述。
實施例1帶水可感光成象組合物按下列表1進行了配制。性能數(shù)據(jù)見表2。表1中的“單體基料”如表3所示;其所有的物料經(jīng)混合、過濾，然后加入到水相部分。印刷電路板的制作條件示于表4。配方1和4是本發(fā)明的配方;配方2和3是比較配方。
表1配方名稱 組分類型 #1 #2 #3 #4Neocryl CL-340 羧酸粘合劑 40.0 40.0 40.0 40.0(100%固體)丙烯酸二甲氨基 氨基丙烯酸酯 2.5 0.0 0.0 2.5乙酯DMAMP80 叔胺中和劑 0.0 2.5 0.0 0.0氨 伯胺中和劑 0.0 0.0 2.5 0.0DSX-1514 聯(lián)合增稠劑 4.5 4.5 4.5 4.5(Henkel)去離子水 主要溶劑 100.0 100.0 100.0 50.0BYK-033 消泡劑 1.0 1.0 1.0 1.0(BYK/Chemie)單體基料 見表3 20.5 20.5 20.5 20.5Q4-3667(Dow 滑動助劑 0.45 0.45 0.45 0.45Corning)Fluorad FC170- 表面張力改進劑 1.01 1.0 1.0 1.0C(3M)Texanol 凝結溶劑 4.5 4.5 4.5 4.5(Eastman)注各組分的重量以克計。
Neocryl CL-340是一種具有酸值約160的苯乙烯/丙烯酸聚合物。
Q4-3667(Dow)是一種以聚醚改性的二甲基硅氧烷和環(huán)二甲基硅氧烷以80∶20的混合物DMAMP＝2-二甲氨基-2-甲基-1-丙醇表2配方編號 #1 #2 #3 #4使用性能結果粘度(初始) 850cps 1790cps 1500cps 1900cps固體百分數(shù) 40% 40% 40% 60%乳狀液穩(wěn)定性 均勻/穩(wěn)定 均勻/穩(wěn)定 相分離 均勻穩(wěn)定(保持一周)銅沾污 無 很輕微 嚴重 無(保持三天后)抗堿性 良好 中等至良好 中等至差 良好涂層缺陷 0個空穴/呎20個空穴/呎27個空穴/呎20個空穴/呎2涂層均勻性 無皺 無皺 微皺 無皺感光速度 銅步驟9 銅步驟7 銅步驟6.5 銅步驟9(60mj/cm2)表3單體基料的組分 組分類型 克數(shù)/配方乙氧基化的TMPTA 多官能團丙烯酸酯 17.6(3摩爾乙氧基化)Modaflow 流動添加劑 0.05抗氧化劑2246 抗氧化劑 0.03Quantacure ITX(噻噸酮) 光敏劑 0.59Quantacure EPD(3°胺) 光引發(fā)劑 1.49Baso Blue688 背底染料 0.09三苯膦 抗氧化劑 0.5苯并三唑 粘附促進劑 0.25
TMPTA＝三丙烯酸三羥甲基丙烷酯表4制作工藝條件涂覆-Burkle(單面)滾筒涂覆機，22個螺紋/吋基材-覆銅板曝光-HMW ORC，301B型，重氮型原圖顯影-1%Na2CO3·H2O，85°F，2×轉效點蝕刻劑-3N CuCl2，140°F，1.3×最小蝕刻剝離劑-3%NaOH，130°F使用性能說明粘度-用Brookfield粘度計，在70℃初始測定，然后于一周后測定乳狀液穩(wěn)定性-基于清漆混合物全部的均勻性來衡量穩(wěn)定性抗堿性-在pH為9.2條件下進行堿性蝕刻后測定其抗堿性涂層缺陷-滾筒涂覆后計數(shù)涂層中空穴(細小斑點)的數(shù)目涂層均勻性-涂覆后立即觀測其均勻性感光速度-采用Stouffer 21步驟以測定最后保持步驟(每一步驟改變1/2)(注較高的步驟表明較高的聚合程度)玷污-顯影后觀測銅表面上的玷污程度。
權利要求
1.一種在水介質中能形成乳狀液可感光成象組合物，其特征在于它含有(A)30-80重量%的酸值為40-250的膠乳粘合劑，(B)15-50重量%的α，β-乙烯鏈基的不飽和單體，氨基丙烯酸酯不包括在內(nèi)；(C)0.1-25重量%的能產(chǎn)生自由基的光引發(fā)劑或光引發(fā)化學物系；(D)0.1-20重量%的氨基丙烯酸酯，用來中和前述膠乳粘合劑聚合物酸官能度的1-40摩爾%；(E)高達40重量%的另一種中和用的堿和/或聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑，其量連同所述氨基丙烯酸酯足以使可感光成象組合物作為水質乳化液而穩(wěn)定存在。各組份的重量百分數(shù)都是基于各組分A至E的總重量而言。
2.如權利要求1所述的可感光成象組成物，其特征在于它以水介質中的乳狀液形式存在。
3.如權利要求1所述的可感光成象組合物，其特征在于它以載片上層的形式存在，所述的層和所述載片構成了干膜。
4.如權利要求1所述的可感光成象組合物，其特征在于(E)是占1-40重量%的聚醚聚氨基甲酸乙酯聯(lián)合增稠劑，此重量%是按組分A-E的總重量為基準。
全文摘要
一種帶水可感光成象組合物即光刻膠，它含有一種膠乳粘合劑聚合物(其酸官能度足以使它能在堿性水溶液中可顯影，由氨基丙烯酸酯將此酸功能度中和至約1摩爾％)、一種可光聚合的單體部分和一種光引發(fā)劑化學品體系。
文檔編號H05K3/28GK1106935SQ9411862
公開日1995年8月16日 申請日期1994年11月21日 優(yōu)先權日1994年1月25日
發(fā)明者D·E·倫迪, R·K·巴爾, T·N·特拉 申請人:莫頓國際股份有限公司