專利名稱：真空石英加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及集成電路生產(chǎn)工藝中使用的化學(xué)腐蝕和清洗器皿中的加熱器，特別是一種真空石英加熱器。
現(xiàn)有集成電路基片化學(xué)腐蝕和清洗器皿的加熱器通常是把加熱絲直接穿在石英套管中，與電源線連接，石英管兩端敞開，加熱絲暴露在外，直接與空氣接觸。在集成電路生產(chǎn)工藝的腐蝕和清洗中，常需要溫度升高到110℃-180℃，但在硫酸、鹽酸、硝酸或磷酸等化學(xué)氣氛中，加熱器的加熱絲尤其是接頭處常常受到腐蝕，以致燒毀，壽命短，使加熱終止，并且在加熱過程中，極易揮發(fā)出金屬氧化物粉末或金屬粉塵，常常污染腐蝕液、剝離液或清洗液，造成集成電路基片的雜質(zhì)污染，帶進(jìn)金屬離子，影響到電路或器件的穩(wěn)定性、可靠性，成品率下降。
本實(shí)用新型的目的在于克服上述加熱器的不足，提供一種使加熱絲既耐腐蝕，又能防止金屬離子沾污的真空石英加熱器，提高集成電路的可靠性和成品率。
本實(shí)用新型的目的通過如下措施達(dá)到它包括石英套管、穿在石英套管中加熱用的電爐絲和電源線，其特點(diǎn)在于在石英套管兩端出口處各加一個(gè)電極片并抽成真空，兩電極片一端分別與電源線連接，另一端與鎢絲焊接，鎢絲的另一端與加熱絲的兩端焊接在一起。當(dāng)接通電源時(shí)，電爐絲通過電極片和鎢絲受熱、發(fā)紅，起到加熱作用。
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。


圖1為本實(shí)用新型采用U形管狀石英套管的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型采用W形管狀石英套管的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型用在石英杯中的使用示意圖。
參見附圖1，本實(shí)用新型由石英套管1、穿在其中間的加熱絲6、電源線3、電極片4及鎢絲5組成，石英套管1的兩端口處插入電極片4，電極片4由石英玻璃2封住，該石英玻璃2外圈再與石英套管1燒結(jié)，并經(jīng)機(jī)械泵抽真空，7是抽真空的堵頭，其真空度為10-1-10-2乇。石英套管1的直徑為8-10mm，壁厚2-4mm，其形狀可以是U形管狀如附圖1所示和W形管如附圖2所示，還可以是S形管狀。在石英套管1的兩端口處各有一根電源線3，分別與電極片4焊接，電極片4的另一端與鎢絲5的一端焊接在一起，鎢絲5的另一端與電爐絲6兩端焊接，電爐絲6的功率任意選擇，如800W、1000W、1200W均可，電極片4的材料可以是鉭片或鉑片。
真空石英加熱器可與石英杯配合使用。把真空石英加熱器燒結(jié)在石英杯的底部，組成了良好的真空石英加熱腐蝕杯，如圖3所示，8為石英杯、9為石英蓋杯子、10為測溫?zé)崤伎住?1為石英棒架、12為石英真空加熱器、3為電源線。
本實(shí)用新型由于將石英套管封閉并抽真空，讓電爐絲與外界空氣隔絕，這樣能使電爐絲耐腐蝕，使用方便、靈活，延長了電爐絲的壽命，而且由于電爐絲是套在石英管里，加熱時(shí)沒有明火，因此安全，特別是在有有機(jī)溶劑的場合，使用更可靠。對(duì)集成電路生產(chǎn)工藝而言，更重要的是防止了加熱過程中引起的金屬離子污染。把本實(shí)用新型與石英器皿配合使用，凈化了集成電路、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的化學(xué)清洗和腐蝕加熱處理的過程，是集成電路工藝中一種良好的加熱升溫裝置，也可以在其它行業(yè)的加熱升溫處理過程中使用。
權(quán)利要求1.一種真空石英加熱器，包括石英套管、穿在石英套管中加熱用的電爐絲和電源，其特征在于在石英套管兩端出口處各有一個(gè)電極片并抽成真空，兩電極片一端分別與電源線連接，另一端與鎢絲焊接，鎢絲的另一端與電爐絲的兩端焊接在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于石英套管的直徑為8-10mm，壁厚2-4mm，其形狀是U形管、W形管和S形管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于用石英玻璃密封的電極片4的材料是鉭片或鉑片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于石英套管內(nèi)的真空度為10-1-10-2乇。
專利摘要一種集成電路生產(chǎn)工藝中使用的真空石英加熱器由石英套管、電爐絲、電極片、鎢絲及電源線組成，在石英套管兩端出口處各加有一電極片并抽成真空，兩電極片一端分別與電源線連接，另一端與鎢絲焊接，鎢絲的另一端與電爐絲的兩端焊接在一起。本實(shí)用新型既耐腐蝕又使用安全、方便、可靠，且防止了加熱過程中引起的金屬離子污染，是集成電路工藝中一種良好的加熱升溫裝置。
文檔編號(hào)H05B3/44GK2257637SQ9621430
公開日1997年7月9日 申請(qǐng)日期1996年7月1日 優(yōu)先權(quán)日1996年7月1日
發(fā)明者劉振芳 申請(qǐng)人:中國航天工業(yè)總公司七七一研究所