一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及長晶爐領(lǐng)域，特別是涉及一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]由于波紋管容易晃動，長晶爐在正常抽真空、行走、填充高壓時，波紋管會扭曲碰觸到籽晶竿，導(dǎo)致稱重信號有大幅偏差，影響晶體的生長，導(dǎo)致晶體表面平整度差，也就是晶體會有扭曲、波紋等現(xiàn)象發(fā)生，這現(xiàn)象會形成晶體內(nèi)部品質(zhì)不良，包裹物較多等問題。
[0003]波紋管的伸縮防護效果好，但是抗變形和晃動的能力差，需要進行提高穩(wěn)定性的改進。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，提高波紋管的穩(wěn)定性，避免其與籽晶桿的接觸。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是:提供一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，包括:長晶爐殼體和稱重真空密閉箱，所述稱重真空密閉箱設(shè)置在長晶爐殼體的上方，所述稱重真空密閉箱與長晶爐殼體之間設(shè)置有波紋管進行密封連接，所述稱重真空密閉箱內(nèi)設(shè)置有一個步進電機，所述步進電機的輸出端連接設(shè)置有一根穿過波紋管而延伸至長晶爐殼體內(nèi)的籽晶桿，所述長晶爐殼體內(nèi)設(shè)置有與籽晶桿相連接的晶體，所述波紋管內(nèi)設(shè)置有數(shù)個氣壓支撐桿，所述數(shù)個氣壓支撐桿的底部分別與長晶爐殼體相連接，所述數(shù)個氣壓支撐桿的伸縮桿端部分別與稱重真空密閉箱相連接。
[0006]在本發(fā)明一個較佳實施例中，所述長晶爐殼體上方設(shè)置有一個豎直移動裝置，所述稱重真空密閉箱的背部與豎直移動裝置相連接進行上下移動。
[0007]在本發(fā)明一個較佳實施例中，所述數(shù)個氣壓支撐桿環(huán)形陳列分布在籽晶桿的四周。
[0008]在本發(fā)明一個較佳實施例中，所述稱重真空密閉箱內(nèi)設(shè)置有荷重元，所述步進電機連接設(shè)置在荷重元下方。
[0009]在本發(fā)明一個較佳實施例中，所述數(shù)個氣壓支撐桿分別包含一個儲氣筒。
[0010]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明指出的一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，利用數(shù)個氣壓支撐桿對籽晶桿進行防護，減少了波紋管上下伸縮時的晃動，避免了波紋管與籽晶桿的接觸，提高了晶體稱重精度和生產(chǎn)質(zhì)量。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖，其中: 圖1是本發(fā)明一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置一較佳實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0012]下面將對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0013]請參閱圖1，本發(fā)明實施例包括:
一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，包括:長晶爐殼體I和稱重真空密閉箱3，所述稱重真空密閉箱3設(shè)置在長晶爐殼體I的上方，所述稱重真空密閉箱3與長晶爐殼體3之間設(shè)置有波紋管5進行密封連接，所述稱重真空密閉箱3內(nèi)設(shè)置有一個步進電機32，所述步進電機32的輸出端連接設(shè)置有一根穿過波紋管5而延伸至長晶爐殼體I內(nèi)的籽晶桿4，所述長晶爐殼體I內(nèi)設(shè)置有與籽晶桿4相連接的晶體7，晶體7隨籽晶桿4進行轉(zhuǎn)動和上下移動。
[0014]所述波紋管5內(nèi)設(shè)置有數(shù)個氣壓支撐桿6，所述數(shù)個氣壓支撐桿6的底部分別與長晶爐殼體I相連接，所述數(shù)個氣壓支撐桿6的伸縮桿62端部分別與稱重真空密閉箱3相連接。伸縮桿62隨稱重真空密閉箱3的移動而上下伸縮，所述數(shù)個氣壓支撐桿6分別包含一個儲氣筒61，進行空氣的存儲和釋放。
[0015]所述長晶爐殼體I上方設(shè)置有一個豎直移動裝置2，所述稱重真空密閉箱3的背部與豎直移動裝置2相連接進行上下移動，帶動了籽晶桿4的上下移動以及波紋管5的伸縮保護。
[0016]所述數(shù)個氣壓支撐桿6環(huán)形陳列分布在籽晶桿4的四周，對籽晶桿4進行保護，對波紋管5進行支撐，減少波紋管5的晃動，杜絕了波紋管5對籽晶桿4的接觸和不良影響。
[0017]所述稱重真空密閉箱3內(nèi)設(shè)置有荷重元31，所述步進電機32連接設(shè)置在荷重元31下方。利用荷重元31對步進電機32、籽晶桿4和晶體7進行稱重，杜絕了波紋管5對籽晶桿4的影響，提尚了稱重的精度，有利于提尚晶體7生廣品質(zhì)。
[0018]綜上所述，本發(fā)明指出的一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，避免了波紋管5對籽晶桿4的接觸，提高了晶體的移動穩(wěn)定性，稱重精度高，晶體的生長效果好。
[0019]以上所述僅為本發(fā)明的實施例，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其它相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，包括:長晶爐殼體和稱重真空密閉箱，其特征在于，所述稱重真空密閉箱設(shè)置在長晶爐殼體的上方，所述稱重真空密閉箱與長晶爐殼體之間設(shè)置有波紋管進行密封連接，所述稱重真空密閉箱內(nèi)設(shè)置有一個步進電機，所述步進電機的輸出端連接設(shè)置有一根穿過波紋管而延伸至長晶爐殼體內(nèi)的籽晶桿，所述長晶爐殼體內(nèi)設(shè)置有與籽晶桿相連接的晶體，所述波紋管內(nèi)設(shè)置有數(shù)個氣壓支撐桿，所述數(shù)個氣壓支撐桿的底部分別與長晶爐殼體相連接，所述數(shù)個氣壓支撐桿的伸縮桿端部分別與稱重真空密閉箱相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，其特征在于，所述長晶爐殼體上方設(shè)置有一個豎直移動裝置，所述稱重真空密閉箱的背部與豎直移動裝置相連接進行上下移動。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，其特征在于，所述數(shù)個氣壓支撐桿環(huán)形陳列分布在籽晶桿的四周。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，其特征在于，所述稱重真空密閉箱內(nèi)設(shè)置有荷重元，所述步進電機連接設(shè)置在荷重元下方。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，其特征在于，所述數(shù)個氣壓支撐桿分別包含一個儲氣筒。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，包括：長晶爐殼體和稱重真空密閉箱，所述稱重真空密閉箱設(shè)置在長晶爐殼體的上方，所述稱重真空密閉箱與長晶爐殼體之間設(shè)置有波紋管進行密封連接，所述稱重真空密閉箱內(nèi)設(shè)置有一個步進電機，所述步進電機的輸出端連接設(shè)置有一根穿過波紋管而延伸至長晶爐殼體內(nèi)的籽晶桿，所述長晶爐殼體內(nèi)設(shè)置有與籽晶桿相連接的晶體，所述波紋管內(nèi)設(shè)置有數(shù)個氣壓支撐桿。通過上述方式，本發(fā)明所述的穩(wěn)定性高的長晶爐用晶體稱重裝置，利用數(shù)個氣壓支撐桿對籽晶桿進行防護，減少了波紋管上下伸縮時的晃動，避免了波紋管與籽晶桿的接觸，提高了晶體稱重精度和生產(chǎn)質(zhì)量。
【IPC分類】C30B15/28
【公開號】CN105177704
【申請?zhí)枴?br>【發(fā)明人】彭志豪, 陳遠帆, 吳承, 陳冠廷
【申請人】蘇州晶特晶體科技有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請日】2015年10月23日