一種植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓級(jí)封裝設(shè)備，特別涉及一種晶圓級(jí)封裝設(shè)備中植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]晶圓級(jí)封裝WLCSP(Wafer Level Chip Scale Packaging)即晶圓級(jí)芯片封裝方式的植球工藝中，有的時(shí)候因?yàn)槿藛T的誤操作或其它原因，造成作業(yè)時(shí)混球。也就是說(shuō)作業(yè)時(shí)在正確的凸點(diǎn)(bump)球中混入了直徑偏小或者偏大的凸點(diǎn)(bump)球。結(jié)果是大球卡在網(wǎng)板上，造成網(wǎng)板破損。小球直接作業(yè)到晶元上，最終造成良率損失。為預(yù)防這類問(wèn)題的發(fā)生，有公司規(guī)定只要是上到設(shè)備的凸點(diǎn)(bump)球，剩余的，全部廢棄，造成大量的材料浪費(fèi)。即就是如此嚴(yán)格的管控，也未能做到100%的不混球。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷或不足，提供一種植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，包括供球?qū)Ч?、供球瓶、植球?qū)Ч?，所述供球?qū)Ч?、供球瓶和植球?qū)Ч芤来蜗嗤ㄟB接，該植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，還包括隔離裝置，所述隔離裝置安裝在供球瓶?jī)?nèi)用于將通過(guò)所述供球?qū)Ч芩腿胨龉┣蚱績(jī)?nèi)大小不一的球相隔離。
[0004]本發(fā)明提供的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)增加了大小球隔離裝置，可以有效避免混球事件的發(fā)生，保證了植球產(chǎn)品的品質(zhì)，做到了上機(jī)凸點(diǎn)(bump)用不完能夠回收，大大節(jié)約了材料成本。同時(shí)降低了設(shè)備內(nèi)部清潔的頻次，大大的提高了產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備利用率。
【附圖說(shuō)明】
[0005]通過(guò)閱讀參照以下附圖所作的對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本申請(qǐng)的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:
[0006]圖1為現(xiàn)有植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)示意圖；
[0007]圖2本發(fā)明提供的植球設(shè)備的供球結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0009]I供球?qū)Ч?2-供球瓶;3-植球?qū)Ч?4-第一篩網(wǎng)；
[0010]5-第二篩網(wǎng);6-第一廢球收集導(dǎo)管;7-第二廢球收集導(dǎo)管；
[0011]8-抖動(dòng)電機(jī)
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本申請(qǐng)作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明?？梢岳斫獾氖?，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋相關(guān)發(fā)明，而非對(duì)該發(fā)明的限定。另外還需要說(shuō)明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與發(fā)明相關(guān)的部分。
[0013]需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本申請(qǐng)。
[0014]如圖2所示，本實(shí)施例提供了一種植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，包括供球?qū)Ч?、供球瓶2、植球?qū)Ч?，供球?qū)Ч?、供球瓶2和植球?qū)Ч?依次相通連接，本植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)還包括隔離裝置，隔離裝置安裝在供球瓶2內(nèi)用于將通過(guò)供球?qū)Ч躀送入供球瓶2內(nèi)大小不一的球相隔咼。
[0015]本發(fā)明提供的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)增加了大小球隔離裝置，可以有效避免混球事件的發(fā)生，保證了植球產(chǎn)品的品質(zhì)，做到了上機(jī)凸點(diǎn)(bump)用不完能夠回收，大大節(jié)約了材料成本。同時(shí)降低了設(shè)備內(nèi)部清潔的頻次，大大的提高了產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備利用率。
[0016]如圖2所示，進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的隔離裝置至少包括一個(gè)具有多個(gè)篩孔的篩網(wǎng)，根據(jù)實(shí)際需要，可以是一個(gè)篩網(wǎng)，也可以是兩個(gè)或多個(gè)篩網(wǎng)，且每個(gè)篩網(wǎng)篩孔的形狀、大小根據(jù)實(shí)際的需要來(lái)選擇安裝。篩網(wǎng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作難度小、成本低，且容易安裝。
[0017]進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的篩網(wǎng)可拆卸地安裝在供球瓶2內(nèi)，并且篩網(wǎng)的篩孔尺寸可選擇。根據(jù)不同的球來(lái)選擇篩網(wǎng)，比較方便、降低成本。
[0018]如圖2所示，進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)還包括至少一根廢球收集導(dǎo)管，廢球收集導(dǎo)管用于收集經(jīng)篩網(wǎng)篩選出的廢球。及時(shí)將廢球排出，利于提高隔離效率。
[0019]如圖2所示，進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的篩網(wǎng)為兩個(gè)具有多個(gè)篩孔的第一篩網(wǎng)4和第二篩網(wǎng)5，第一篩網(wǎng)4安裝在第二篩網(wǎng)5的上方，第一篩網(wǎng)4的篩孔所能通過(guò)的球的直徑大于第二篩網(wǎng)5的篩孔所能通過(guò)的球的直徑。在本實(shí)施例中，第一篩網(wǎng)4篩孔的能夠讓正常球和比正常球直徑小的球下落，而不能使比正常球直徑大的球下落。第二篩網(wǎng)5篩孔能夠使比正常球直徑小的球，而不能使正常球下落。這樣經(jīng)過(guò)第一篩網(wǎng)4和第二篩網(wǎng)5的兩次隔離，使得大小和小于正常球被隔離開(kāi)。因此，由于設(shè)置了兩重篩網(wǎng)，可以隔離調(diào)比正常球直徑大以及比正常球直徑小的球，有效避免混球事件的發(fā)生，保證了植球的品質(zhì)。
[0020]如圖2所示，進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的廢球收集導(dǎo)管為兩根，兩根廢球收集導(dǎo)管為第一廢球收集導(dǎo)管6和第二廢球收集導(dǎo)管7，第一廢球收集導(dǎo)管6連通第一篩網(wǎng)4上方的供球瓶2內(nèi)空間，用于收集未通過(guò)第一篩網(wǎng)4的廢球，第二廢球收集導(dǎo)管7連通第二篩網(wǎng)5下方的供球瓶2內(nèi)空間，用于收集未通過(guò)第二篩網(wǎng)5的廢球。有利于及時(shí)排出廢球，提高隔離、植球效率。
[0021]如圖2所示，進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的第一篩網(wǎng)4所在平面與供球瓶2的任一橫截面傾斜一定角度，并且第一廢球收集導(dǎo)管6在第一篩網(wǎng)4的低水平處連通供球瓶2內(nèi)空間；并且第二篩網(wǎng)5所在平面與供球瓶2的任一橫截面傾斜一定角度，并且植球?qū)Ч?在第二篩網(wǎng)5的低水平處連通第二篩網(wǎng)5上方的供球瓶2內(nèi)空間，第二廢球收集導(dǎo)管7在供球瓶2的底部連通供球瓶2內(nèi)空間。第一篩網(wǎng)4和第二篩網(wǎng)5傾斜的角度最好選擇為15度到45度之間，本實(shí)施例中傾斜的角度均為30度。通過(guò)將第一篩網(wǎng)4和第二篩網(wǎng)5傾斜設(shè)置，可以使球在自身重力的作用下滾落、集中到一定的位置，如最下端，然后通過(guò)廢球收集管回收。可以收集廢球，減少供球瓶中廢球的數(shù)量，提供落球、植球的效率。
[0022]如圖2所示，進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的第一篩網(wǎng)4所在平面與第二篩網(wǎng)5所在平面傾斜一定的角度，使得第一廢球收集導(dǎo)管6和植球?qū)Ч?能夠錯(cuò)開(kāi)，這樣方便后續(xù)廢球收集導(dǎo)管的安裝，與植球?qū)Ч懿话l(fā)生干涉。
[0023]如圖2所示，進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的篩網(wǎng)篩孔的形狀為圓形。當(dāng)然可以是四邊形、橢圓形等其他形狀。由于篩孔為圓形，與植球的形狀一致，因此較容易控制、選擇篩網(wǎng)的規(guī)格。
[0024]如圖2所示，進(jìn)一步，本實(shí)施例提供的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)還包括還包括抖動(dòng)電機(jī)8，抖動(dòng)電機(jī)8可以帶動(dòng)所述供球瓶2發(fā)生震動(dòng)。通過(guò)抖動(dòng)電機(jī)的設(shè)置，達(dá)到隔離大小球的功能，提高隔離球的效率。
[0025]以上描述僅為本申請(qǐng)的較佳實(shí)施例以及對(duì)所運(yùn)用技術(shù)原理的說(shuō)明。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，本申請(qǐng)中所涉及的發(fā)明范圍，并不限于上述技術(shù)特征的特定組合而成的技術(shù)方案，同時(shí)也應(yīng)涵蓋在不脫離所述發(fā)明構(gòu)思的情況下，由上述技術(shù)特征或其等同特征進(jìn)行任意組合而形成的其它技術(shù)方案。例如上述特征與本申請(qǐng)中公開(kāi)的(但不限于)具有類似功能的技術(shù)特征進(jìn)行互相替換而形成的技術(shù)方案。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，包括供球?qū)Ч?、供球瓶、植球?qū)Ч?，所述供球?qū)Ч?、供球瓶和植球?qū)Ч芤来蜗嗤ㄟB接，其特征在于，還包括隔離裝置，所述隔離裝置安裝在供球瓶?jī)?nèi)，用于將通過(guò)所述供球?qū)Ч芩腿胨龉┣蚱績(jī)?nèi)大小不一的球相隔離。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述隔離裝置至少包括一個(gè)具有多個(gè)篩孔的篩網(wǎng)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述篩網(wǎng)可拆卸地安裝在所述供球瓶?jī)?nèi)，并且所述篩網(wǎng)的篩孔尺寸可選擇。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括至少一根廢球收集導(dǎo)管，所述廢球收集導(dǎo)管用于收集經(jīng)所述篩網(wǎng)篩選出的廢球。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述至少一個(gè)篩網(wǎng)包括第一篩網(wǎng)和第二篩網(wǎng)，所述第一篩網(wǎng)安裝在所述第二篩網(wǎng)的上方，所述第一篩網(wǎng)的篩孔所能通過(guò)的球的直徑大于所述第二篩網(wǎng)的篩孔所能通過(guò)的球的直徑。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述至少一根廢球收集導(dǎo)管包括第一廢球收集導(dǎo)管和第二廢球收集導(dǎo)管;所述第一廢球收集導(dǎo)管連通所述第一篩網(wǎng)上方的所述供球瓶?jī)?nèi)空間，用于收集未通過(guò)所述第一篩網(wǎng)的廢球;所述第二廢球收集導(dǎo)管連通所述第二篩網(wǎng)下方的所述供球瓶?jī)?nèi)空間，用于收集通過(guò)所述第二篩網(wǎng)的廢球。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于， 所述第一篩網(wǎng)所在平面與所述供球瓶的任一橫截面傾斜一定角度，并且所述第一廢球收集導(dǎo)管在所述第一篩網(wǎng)的低水平處連通所述供球瓶?jī)?nèi)空間;并且 所述第二篩網(wǎng)所在平面與所述供球瓶的任一橫截面傾斜一定角度，并且所述植球?qū)Ч茉谒龅诙Y網(wǎng)的低水平處連通所述第二篩網(wǎng)上方的所述供球瓶?jī)?nèi)空間，所述第二廢球收集導(dǎo)管在所述供球瓶的底部連通所述供球瓶?jī)?nèi)空間。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一篩網(wǎng)所在平面與所述第二篩網(wǎng)所在平面存在一定夾角。9.根據(jù)權(quán)利要求2-8任一所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述篩網(wǎng)篩孔的形狀為圓形。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括抖動(dòng)電機(jī)，所述抖動(dòng)電機(jī)能夠帶動(dòng)所述供球瓶發(fā)生震動(dòng)。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)，包括供球?qū)Ч?、供球瓶、植球?qū)Ч?，供球?qū)Ч?、供球瓶和植球?qū)Ч芤来蜗嗤ㄟB接；該植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)還包括隔離裝置，隔離裝置安裝在供球瓶?jī)?nèi)用于將通過(guò)供球?qū)Ч芩腿牍┣蚱績(jī)?nèi)大小不一的球相隔離。本發(fā)明提供的植球設(shè)備的供球機(jī)構(gòu)增加了大小球隔離裝置，可以有效避免混球事件的發(fā)生，保證了植球產(chǎn)品的品質(zhì)，做到了上機(jī)凸點(diǎn)(bump)用不完能夠回收，大大節(jié)約了材料成本。同時(shí)降低了設(shè)備內(nèi)部清潔的頻次，大大的提高了產(chǎn)品質(zhì)量和設(shè)備利用率。
【IPC分類】H01L21/60
【公開(kāi)號(hào)】CN105609435
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510999361
【發(fā)明人】郭其俊
【申請(qǐng)人】南通富士通微電子股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年5月25日
【申請(qǐng)日】2015年12月25日