技術(shù)編號：10014974
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中常用波紋管來實(shí)現(xiàn)某些部件的升降功能，同時(shí)實(shí)現(xiàn)大氣與真空環(huán)境的互換，所以必須保證波紋管的密封性能滿足設(shè)備的要求。另外，在波紋管安裝到設(shè)備之前，如果不進(jìn)行密封性能的檢測，增加了不確定因素可能會(huì)出現(xiàn)漏率不合格等現(xiàn)象，如此會(huì)增加設(shè)備檢漏時(shí)間及零部件的更換裝配時(shí)間。因而設(shè)計(jì)了此檢驗(yàn)工裝，減少了設(shè)備的檢漏時(shí)間及更換零部件的時(shí)間，同時(shí)提高設(shè)備的可靠性能。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型以解決上述問題為目的，設(shè)計(jì)了一種波紋管密封性能檢驗(yàn)工裝結(jié)構(gòu)，有效的提高了檢漏的可靠性...
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