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      一種用于超精密儀器的分度裝置的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):10076450

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      隨著航空航天、國(guó)防工業(yè)、微電子工業(yè)、現(xiàn)代醫(yī)學(xué)以及生物工程技術(shù)的發(fā)展.對(duì)精密/超精密機(jī)械零件(特征尺寸在微米級(jí)到毫米級(jí));的需求日益迫切。其結(jié)構(gòu)形狀的特異化、零件材料的多樣化、尺寸與表面質(zhì)量的高精度化成為高精密機(jī)械零件及其微型裝置及設(shè)備的顯著特征,在使用功能、材料特性、結(jié)構(gòu)形狀、可靠性等方面的要求也越來越高。其超精密儀器由動(dòng)力系統(tǒng)、分度系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及監(jiān)視系統(tǒng)等5個(gè)部分組成。其中分度系統(tǒng)是超精密儀器最為關(guān)鍵的部分,而提高超精密儀器分度系統(tǒng)的精度顯得特別重要...
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