技術(shù)編號(hào):10076450
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著航空航天、國(guó)防工業(yè)、微電子工業(yè)、現(xiàn)代醫(yī)學(xué)以及生物工程技術(shù)的發(fā)展.對(duì)精密/超精密機(jī)械零件(特征尺寸在微米級(jí)到毫米級(jí));的需求日益迫切。其結(jié)構(gòu)形狀的特異化、零件材料的多樣化、尺寸與表面質(zhì)量的高精度化成為高精密機(jī)械零件及其微型裝置及設(shè)備的顯著特征,在使用功能、材料特性、結(jié)構(gòu)形狀、可靠性等方面的要求也越來越高。其超精密儀器由動(dòng)力系統(tǒng)、分度系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及監(jiān)視系統(tǒng)等5個(gè)部分組成。其中分度系統(tǒng)是超精密儀器最為關(guān)鍵的部分,而提高超精密儀器分度系統(tǒng)的精度顯得特別重要...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。