技術(shù)編號：10101602
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。改良西門子法三氯氫硅氫還原生產(chǎn)多晶硅過程，反應(yīng)轉(zhuǎn)化率在10%左右，未反應(yīng)的氫氣、三氯氫硅和反應(yīng)副產(chǎn)物四氯化硅、氯化氫、二氯二氫硅共同組成還原尾氣，進(jìn)入干法回收系統(tǒng)分離、回收。傳統(tǒng)的干法回收系統(tǒng)由“冷凝分離氯硅烷-吸收脫吸分離氯化氫-吸附凈化回收氫”三大部分組成。具體工藝為還原尾氣先經(jīng)加壓冷凝以回收液態(tài)氯硅烷，再通過低溫氯硅烷吸收-高溫脫吸的方式分離回收不凝氣中絕大部分的氯化氫，之后經(jīng)活性炭吸附其中極少量的氯硅烷、氯化氫及其它雜質(zhì)，吸附后的絕大部分回收氫返回...
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