技術(shù)編號：10126966
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。M0源即高純金屬有機化合物，是采用金屬有機化學(xué)氣相沉積(M0CVD)技術(shù)進行外延生長時的支撐材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半導(dǎo)體超薄型膜材料，可用來生產(chǎn)LED外延片、HEMT器件、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等；是發(fā)展光電子產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵材料之一，也是生產(chǎn)高亮度、超高亮度發(fā)光材料及大規(guī)模集成電路的必備原料。M0源具有非常活潑的化學(xué)性質(zhì)，對空氣和水汽極為敏感，在空氣中會瞬間自燃，遇水則發(fā)生猛烈爆炸。因此，M0源的灌裝需要在密閉且無02、無H2...
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