技術(shù)編號：10152159
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在晶體生長，熱場分布、均勻性等指標(biāo)決定著晶體生長的質(zhì)量。而熱場主要由晶體加熱器和保溫層組成。目前晶體加熱器一般分為以下幾種鳥籠式一由鎢棒組成鳥籠形狀；瓦片式一由鎢絲網(wǎng)或鎢片組成的加熱器；籠裝加熱器一有鎢片或者石墨制成；繞線式感應(yīng)加熱利用感應(yīng)磁場產(chǎn)生感應(yīng)電流加熱。針對籠裝加熱器，其加熱一般是從側(cè)面加熱，這樣就非常有可能在頂部的中心形成一個(gè)冷點(diǎn)，對于從底部生長的晶體會(huì)產(chǎn)生過高的生長界面，降低晶體的品質(zhì)。雖然能夠通過增加上加熱器解決這個(gè)問題，但這樣會(huì)極大的增加成...
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