技術(shù)編號：10189312
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。團簇束流沉積系統(tǒng)采用氣相聚集過程形成團簇(納米粒子)，通過氣體動力學噴嘴形成束流，在高真空下以聲速低能或被加速后荷能沉積于基體上，實現(xiàn)低能團簇束流沉積(CBD)或荷能團簇束流沉積(ECI)，團簇束流技術(shù)在制備納米結(jié)構(gòu)域、納米組分薄膜具有巨大的應用市場。實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型目的是，提供一種適用于高真空下的團簇沉積樣品襯底座，可以用于多個樣品應用。本實用新型的技術(shù)方案是適用于高真空下的團簇沉積樣品襯底座，將襯底座設計成一個菱柱結(jié)構(gòu)，菱...
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