技術(shù)編號：10204972
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。單晶爐是生產(chǎn)單晶硅棒的設(shè)備，其生產(chǎn)過程為將裝滿多晶硅料的石英坩禍放入單晶爐內(nèi)在負(fù)壓狀態(tài)下加熱融化為液體硅料，再通過籽晶拉制成單晶硅，石英坩禍內(nèi)的液體硅料全部被拉制成單晶硅棒，待冷卻后打開單晶爐取出單晶硅棒成品。真空栗是單晶爐上很重要的機(jī)械系統(tǒng)之一，單晶生產(chǎn)過程中，必須排除爐體內(nèi)的空氣以及使?fàn)t腔內(nèi)達(dá)到一定的爐壓，而真空栗則為其提供動(dòng)力。單晶爐有四個(gè)真空主栗，主栗頻率為400次/min?，F(xiàn)有的真空主栗的閥門裝置如圖1所示，該閥門裝置包括閥體1、分別連接閥體1兩...
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