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      一種懸臂梁結(jié)構(gòu)的震動傳感有機場效應(yīng)晶體管的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:10330058

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      近些年來,隨著有機電子學(xué)的迅速發(fā)展,有機場效應(yīng)晶體管(OFETs)以低成本、可選擇材料多、功能范圍廣等優(yōu)勢,以及在電路應(yīng)用、傳感應(yīng)用等方面廣泛的前景,吸引著人們的目光,由于有機電子器件種類的擴展,將現(xiàn)有的有機器件技術(shù)和傳統(tǒng)的無機器件技術(shù)結(jié)合是未來的一個重要發(fā)展方向;由于有機材料可選擇種類多,而不同材料對環(huán)境敏感程度不同,所有我們可以將其結(jié)合在無機器件中制備出各種類的傳感器件;MEMS是在無機微電子技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,包括光刻、腐蝕、薄膜等工藝,還包含了...
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