技術編號：10341909
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。由于鈣鈦礦薄膜制備對薄膜精度及均勻性提出了極高的要求，目前市場上的涂布設備較難滿足納米級精度要求，其中專利CN103496350A只是提供一種簡易涂布設備，未能從提高精密角度給予涂布機更好的解釋。專利CN102632019B只是通過檢測裝置來控制薄膜厚度，但未能保證薄膜的均勻性以及涂布定位的精度。發(fā)明內容為了解決上述的技術問題，本實用新型的目的是提供一種結構合理，精度高，涂布層厚度及均勻度得到很好控制的自動精密涂布設備。為了實現上述目的，本實用新型采用了以...
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