技術(shù)編號(hào):10401547
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。真空鍍膜是指在真空環(huán)境下,將某種金屬或金屬化合物以氣相的形式沉積到材料表面,形成導(dǎo)電膜。在真空鍍膜過程中,進(jìn)口室與出口室由于經(jīng)常與大氣接觸,在反復(fù)抽真空放大氣的過程中,在抽氣管道端部容易出現(xiàn)結(jié)冰的現(xiàn)象,影響到抽真空的效率,甚至堵塞了抽氣管道。—般的,在真空鍍膜的進(jìn)口室與出口室布滿類似鍍膜主室的加熱絲,在真空鍍膜過程中,啟動(dòng)加熱絲的加熱功能,使加熱絲自身產(chǎn)生熱量,并將熱量傳遞給與加熱絲接觸的進(jìn)口室與出口室,使進(jìn)口室與出口室的溫度升高,在抽真空放大氣過程所排出...
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