技術(shù)編號：10486479
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。現(xiàn)有技術(shù)中，激光干涉儀測量導(dǎo)軌直線度采用如圖2和圖3所示的方式，在圖2中，激光從激光頭出射，在渥拉斯頓棱鏡處分成水平方向上的兩束，兩束光通過反射鏡后反射回渥拉斯頓棱鏡處，通過渥拉斯頓棱鏡合束成一束返回到激光器。測量時，移動反射鏡或者渥拉斯頓棱鏡都可，當(dāng)運動過程中測量軸和光軸有一個相對的偏差，這時就可以通過激光頭里面的電子系統(tǒng)記錄下來，得到這一變化值，繼而得出被測導(dǎo)軌的直線度信息;測量鏡沿著X運動時，可以測量出Y方向的直線度的數(shù)據(jù);若要沿著X方向移動，測量出...
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