技術(shù)編號(hào)：10490706
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體上涉及半導(dǎo)體器件的制造，且更具體地說是涉及具有帶有降低了的柵極電阻的接觸結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件。提供如信號(hào)傳遞的電傳導(dǎo)線在電子器件和半導(dǎo)體集成電路(IC)器件中是必要的。通過在所需要位置中的導(dǎo)電插塞連接不同層上的的導(dǎo)線從而提供預(yù)期的作用。半導(dǎo)體制造工藝中的連續(xù)進(jìn)步帶來了具有更好部件和/或更高集成程度的半導(dǎo)體器件。半導(dǎo)體器件包括的各個(gè)部件中，接觸結(jié)構(gòu)通常提供電路器件和/或互連層之間的電連接。含有接觸結(jié)構(gòu)的典型半導(dǎo)體器件具有半導(dǎo)體襯底上的柵極結(jié)構(gòu)和半導(dǎo)體襯...
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