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      半導體裝置的制造方法技術資料下載

      技術編號:10490783

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      在IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor絕緣棚.雙極晶體管)等半導體裝置中,配置有晶體管等元件的元件區(qū)域被終端區(qū)域包圍,有時會在終端區(qū)域附近的元件區(qū)域中發(fā)生局部損壞。該重要因素之一是在元件區(qū)域與終端區(qū)域之間,會產(chǎn)生容易發(fā)生雪崩擊穿的位置(通稱為熱點(hotspot))。例如,在對元件區(qū)域施加了電涌等負荷的情況下,存在在元件區(qū)域與終端區(qū)域之間熱點多次往來的現(xiàn)象。如果在元件區(qū)域與終端區(qū)域之間熱點多次往來,則元件區(qū)域中的耐...
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