技術(shù)編號：10494541
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。—直以來，獲取半導(dǎo)體設(shè)備等檢查對象設(shè)備(DUTdevice under test(被測試設(shè)備))的圖像，基于該圖像進行故障部位的解析等各種解析。例如，在下述專利文獻I中公開有具備用以測定形成于半導(dǎo)體晶圓的電路圖案的線寬的掃描式電子顯微鏡的測定裝置。在該裝置中，使用模板進行觀察圖像中的位置檢測?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻I日本特開2005-310805號公報發(fā)明內(nèi)容發(fā)明所要解決的問題此處，當對良品的檢查對象設(shè)備與不良品的檢查對象設(shè)備等多個檢查對象設(shè)備的測定...
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