技術編號：10509526
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 白光掃描干涉作為一種三維形貌測量方法被廣泛應用于顯微物體的三維形貌測 量和物體表面粗糙度測量。隨著精密制造業(yè)的發(fā)展，需要對一些表面高度跳變從幾百納米 至|J幾百微米的MEMS器件、半導體芯片等物體進行三維形貌測量。目前使用的探針型測量方 法例如原子力顯微鏡和臺階儀均存在一定的局限性，不適用于此類物體的三維形貌測量。 并且，白光掃描干涉測量技術彌補了單波長干涉測量相鄰點之間相位跳變大于測 量波長一半時不能得到正確結果的缺點，擴大了單波長干涉測量的量程。白光...
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