技術(shù)編號：10511923
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。常壓化學(xué)氣相淀積(APCVD)半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)，其是通過通訊線纜，按照控制部件的協(xié)議格式進(jìn)行通訊，完成對設(shè)備狀態(tài)的查詢與控制。具體實(shí)施過程中，由于外設(shè)控制部件種類的多樣性，各自支持通訊方式與協(xié)議的差異性，造成控制系統(tǒng)需要采用多種通訊方式，實(shí)現(xiàn)多種協(xié)議格式來滿足系統(tǒng)功能的要求。APCVD下位機(jī)控制系統(tǒng)EpiTool包括Setup模塊與Driver模塊，其中Setup模塊對應(yīng)用軟件系統(tǒng)中的常量參數(shù)進(jìn)行配置，用戶可以針對受控設(shè)備各個(gè)部分的配置需求，設(shè)計(jì)編寫對應(yīng)...
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