技術(shù)編號:10517988
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。圖18為以往的碳化硅半導體裝置700的主要部分的斷面圖。以往的碳化硅半導體裝置700如圖18所示,包括n+型低電阻碳化硅基板710;n 一型異質(zhì)外延(Heteroepitaxial)層712,形成于n+型低電阻碳化娃基板710上;P型體(Body)區(qū)域716,形成于該η—型外延層712的表面;溝道(Channe I)區(qū)域718,形成于P型體區(qū)域716的表面;η++型源極(Source)區(qū)域720以及ρ++型體接觸(Body contact)區(qū)域722;以及...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。