技術編號:10533742
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。液晶顯示器,因具有能耗低、輻射小、輕、薄等優(yōu)點,被廣泛地應用于各種生活用品、辦公用品中,如電腦、手機、公告顯示板等。液晶顯示器包括薄膜晶體管(Thin Film Transist,TFT)陣列基板、彩膜基板以及注入兩板之間的液晶層。在制作薄膜晶體管基板時通常通過4?6輪掩模(Mask)工藝,經(jīng)過薄膜沉積、掩模板曝光、顯影、刻蝕等工藝而制得。隨著科學技術的發(fā)展,半色調掩模板的出現(xiàn)已經(jīng)將液晶面板的制作工藝減少到了 4Mask工藝技術。如圖1-7所示,現(xiàn)有采用5...
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