技術(shù)編號(hào)：10536746
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。—直以來(lái)，已知有用于以在保持片上保持基板的狀態(tài)下進(jìn)行等離子體處理的等離子體處理裝置。在上述的等離子體處理裝置中，將保持基板的載體(搬運(yùn)載體)作為處理對(duì)象而進(jìn)行等離子體處理。搬運(yùn)載體具有在基板的周?chē)渲玫目蚣?、和保持基板以及框架的保持片。因此，等離子體處理裝置具備腔室;配置在腔室內(nèi)且具有搭載搬運(yùn)載體的上表面的工作臺(tái)；以及在腔室內(nèi)產(chǎn)生等離子體的等離子體激發(fā)裝置。工作臺(tái)通常具備用于使搬運(yùn)載體緊貼在工作臺(tái)上的靜電吸附機(jī)構(gòu)(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。在先技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1國(guó)際公...
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