技術(shù)編號：10537069
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 有機發(fā)光二極管(0LED)在實現(xiàn)全彩色平板顯示設備中有著巨大的潛力，銦錫氧化 物（IT0)被廣泛地用作其透明電極，而0LED的光電特性對IT0表面條件非常敏感。目前已有 很多種處理ΙΤ0表面的方法，來改善其器件性能，如濕法刻蝕、紫外臭氧處理、自組裝膜覆層 處理、〇 2等離子處理、CF4等離子體處理等。CF4等離子體處理是至今為止比較有效的辦法。在 室溫條件下分別用Ar、H 2、CF4和02等離子體對ΙΤ0表面進行處理，其射頻頻率13.56MHz，功率 6...
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