技術(shù)編號(hào)：10548961
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。太陽(yáng)能電池需要一個(gè)大面積的PN結(jié)以實(shí)現(xiàn)光能到電能的轉(zhuǎn)換，而擴(kuò)散爐即為制造太陽(yáng)能電池PN結(jié)的專用設(shè)備。擴(kuò)散爐一般包括設(shè)置有爐門的爐體，爐體內(nèi)設(shè)有石英舟，硅片放置于石英舟上，爐體上設(shè)有用于擴(kuò)散氣體進(jìn)入爐體內(nèi)的進(jìn)氣管和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管，所述排放管上連接有抽風(fēng)機(jī)，擴(kuò)散一般用三氯氧磷液態(tài)源作為擴(kuò)散源，把P型硅片放在擴(kuò)散爐的石英舟內(nèi)，在850-900攝氏度高溫下使用氮?dú)鈱⑷妊趿讕胧⒅?，通過(guò)三氯氧磷和硅片進(jìn)行反應(yīng)，得到磷原子，經(jīng)過(guò)一定時(shí)間，磷原子從四周進(jìn)...
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