技術(shù)編號(hào):10551730
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。20世紀(jì)80年代以來(lái),微機(jī)電系統(tǒng)和微型制造技術(shù)的發(fā)展推動(dòng)了微慣性技術(shù)和微慣性儀表的發(fā)展,導(dǎo)致了新一代加速度計(jì)和陀螺儀的產(chǎn)生。微慣性儀表大都通過(guò)半導(dǎo)體加工工藝制作,體積小、質(zhì)量輕、功耗低。采用硅作為加工材料,并使用與微電子集成電路制造工藝兼容的加工工藝,可以將硅微慣性器件的敏感表頭與信號(hào)處理電路集成在一個(gè)芯片上,從而實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn),降低成本。與傳統(tǒng)慣性儀表相比,微慣性器件還有可靠性高,測(cè)量范圍大的特點(diǎn)。微慣性器件的這些特點(diǎn)使得它具有更寬廣的應(yīng)用范圍,不僅可以用...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。