技術編號:10554377
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。金屬氧化物半導體型場效應晶體管(Metal Oxide Semiconductor Field EffectTransistor,M0SFET)在功率半導體器件領域有著廣泛的應用。為了拓寬其在高壓領域的應用,有必要提高其耐壓能力,因此需要降低MOSFET漂移區(qū)的摻雜濃度,或者增加其厚度,但這會帶來導通電阻較高的缺點。為了改進上述缺點,人們提出了超結(Super Junct1n)M0SFET,其采用交替的p柱和η柱構成器件的漂移層來代替原來的N型外延層,在縱...
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