技術編號：10557241
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。使用模具來使基板上的壓印材料成型的壓印裝置作為用于磁存儲介質、半導體器件等的批量生產(chǎn)光刻裝置中的一個獲得了關注。壓印裝置可以通過在提供到基板上的壓印材料接觸模具的狀態(tài)下使壓印材料硬化(cure)并且從硬化的壓印材料分離(脫離)模具，來在基板上形成圖案。在半導體器件等的制造中，模具的圖案區(qū)域需要以高精度對準形成在基板上的壓射區(qū)域并轉印到壓射區(qū)域。日本專利特開N0.2004-259985提出了用光照射基板來加熱基板并使基板上的壓射區(qū)域變形并且對準基板和模具的方...
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