技術(shù)編號：10571542
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在太陽能電池片的制造過程中，硅片進行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖8所示的石墨舟，具體操作過程是將硅片插入石墨舟并通過石墨舟工藝點定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對硅片進行鍍膜。現(xiàn)有的石墨舟工藝點主要由卡塊和用于安裝在石墨舟片安裝孔中的柱體形安裝部組成，卡塊為兩個且對稱分布在安裝部兩端面上，卡塊是自外向內(nèi)漸縮的圓柱體，其端面與側(cè)面之間采...
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