技術(shù)編號：10618161
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 圓筒形(也稱為旋轉(zhuǎn)型或回轉(zhuǎn)型)濺射靶與平板型濺射靶相比，濺射靶部件的整個 面上腐蝕而可均勻地削減，因而具有使用效率高的優(yōu)點。因此，近年來，使用圓筒形濺射靶 來取代以往的平板型濺射靶的情況有所增加。 作為圓筒形濺射靶的制造方法，具有將圓筒形濺射靶與圓筒形基材制造成一體 的、在圓筒形基材的外周面上利用熔射法來制造的方法。另外，已知有如下方法在圓筒形 基材的外圍填充作為濺射靶部件的原料的粉末，并通過熱等靜壓(HIP)來制造等，利用焊接 材料等的接合材料將由另外...
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