技術(shù)編號：10625869
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體集成電路(IC)工業(yè)已經(jīng)經(jīng)歷了快速發(fā)展。IC材料和設(shè)計的技術(shù)進步產(chǎn)生了多代1C，其中，每一代都具有比先前一代更小且更復(fù)雜的電路。在集成電路演化過程中，功能密度(即，每芯片面積的互連器件的數(shù)量)通常在增大，而幾何尺寸(即，可以使用制造工藝產(chǎn)生的最小組件(或線))減小。在一些應(yīng)用中，存儲器陣列包括多行柵電極，以電連接存儲器陣列的存儲單元的傳輸器件(pass device)的各行。當(dāng)諸如存儲器陣列中的柵電極結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的寬度變得更小時，導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的單位長度...
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