技術(shù)編號：10628153
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 半導體元件被廣泛用于電子產(chǎn)品。例如，作為半導體元件的一例的薄膜晶體管是 具有柵電極、源電極及漏電極的開關元件，被廣泛應用于有源矩陣型液晶顯示器、有機EL等 顯示元件的有源矩陣基板的有源元件等。 現(xiàn)有的薄膜晶體管中，通過濺射法、蒸鍍法、CVD法在半導體層表面形成由硅氮化 物膜(SiNx膜)構(gòu)成的鈍化膜(保護膜）。但是，在形成硅氮化物膜這樣的由無機材料構(gòu)成的 鈍化膜的方法中，鈍化膜的成膜需要在真空中將材料在等離子體化或離子化的狀態(tài)下形成 膜，存在設備大規(guī)模且...
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