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      靜電噴嘴、排出裝置以及半導(dǎo)體模塊的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):10635091

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      公知有一種使液體帶電,并將帶電后的液體涂覆于工件的靜電噴嘴。在多數(shù)的靜電噴嘴中,包括前端部的靜電噴嘴的主體由金屬構(gòu)成。通過對(duì)金屬制的主體施加電壓,能夠使在其內(nèi)部流動(dòng)的液體帶電。然而,在這樣的靜電噴嘴中,存在當(dāng)使靜電噴嘴接近工件時(shí),在靜電噴嘴的前端部與工件之間產(chǎn)生放電的情況。另一方面,專利文獻(xiàn)I公開了一種靜電噴嘴。該靜電噴嘴具有筒狀電極、筒狀噴嘴前端部、以及電源。筒狀電極由導(dǎo)體構(gòu)成。筒狀噴嘴前端部由絕緣體構(gòu)成,且與上述筒狀電極連接。電源對(duì)筒狀電極施加電壓。在...
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