技術(shù)編號：10642466
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。二氧化釩(V02)是一種具有熱致相變特性的金屬氧化物。在相變過程中，同時伴隨著光、電、磁性能的突變。這一性質(zhì)決定了 vo2薄膜作為功能材料，具有較高的潛在應(yīng)用價值和廣闊的應(yīng)用前景，如溫度傳感、環(huán)境檢測、資源探測、傳感器等領(lǐng)域。原子層沉積(ALD)作為一種V02薄膜沉積方法，由于其工藝的優(yōu)勢(溫度低、不受基底形狀、膜厚精確可控等等)，已經(jīng)越來越成為研究熱點，四(甲乙胺)釩是沉積V02薄膜的關(guān)鍵液態(tài)有機源材料，相較無機或固體的源材料，在沉積過程中無腐蝕性、蒸汽...
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