技術(shù)編號(hào)：10653093
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。近年來(lái)，通過使用圖案光產(chǎn)生單元(諸如數(shù)字鏡器件(DMD)、液晶型光學(xué)調(diào)制器件以及形成圖案的掩模)來(lái)產(chǎn)生圖案光、然后執(zhí)行圖案投射、曝光和測(cè)量的裝置是已知的。例如，使用圖案投射方法的某一測(cè)量裝置將圖案光投射在目標(biāo)上，捕捉目標(biāo)的圖像，并且基于捕捉的圖像來(lái)測(cè)量目標(biāo)的形狀。測(cè)量裝置包括測(cè)量頭和成像單元，測(cè)量頭包括用于投射圖案光的投射單元，成像單元用于捕捉目標(biāo)的圖像。測(cè)量裝置在測(cè)量裝置的內(nèi)部或外部設(shè)有計(jì)算單元。投射單元通過圖案光產(chǎn)生單元來(lái)產(chǎn)生圖案光。投射單元通過投射透...
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