技術(shù)編號：10658184
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。碳化硅是一種新的寬禁帶半導(dǎo)體材料，具有禁帶寬度大，材料耐受場強大，導(dǎo)熱性好等突出優(yōu)勢。以之為器件材料的產(chǎn)品，被認為將在高壓高頻高溫高功率等級的電力電子，微波射頻，光電探測等領(lǐng)域代替現(xiàn)有的硅材料產(chǎn)品，稱為一個可觀規(guī)模的產(chǎn)業(yè)，策劃。同時碳化硅還是高端藍光LED照明發(fā)光器件的襯底材料。近年來，碳化硅半導(dǎo)體材料和器件技術(shù)取得很大進步，產(chǎn)品的性能得到提高，市場應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴展。但是與硅對比，獨特的材料特性也給碳化硅材料器件的加工工藝帶來很大挑戰(zhàn)。眾所周知，硅能取得在...
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