技術(shù)編號：10676387
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在為了脆性材料基板例如平板顯示面板等面板的單位基板而將母基板分?jǐn)嗖⒓庸さ姆謹(jǐn)嘌b置中，使用在基板上形成劃線的刻劃裝置、和將刻劃后的基板切割的切割(文V彳夕)裝置。而且，使用為了將基板輸送到刻劃裝置、或者從刻劃裝置輸送至切割裝置而具有多個基板輸送單元的基板輸送裝置。在專利文獻(xiàn)I中，示出了使刻劃頭下降并進(jìn)行按壓，在將母基板朝向相同方向輸送的同時進(jìn)行刻劃的刻劃裝置。在這樣的刻劃裝置中，為了搬入或者搬出基板而設(shè)有多個輸送單元，每個輸送單元在不同的時機(jī)輸送基板。圖1是...
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