技術(shù)編號(hào)：10676396
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在薄膜晶體管液晶顯示器及有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的制造過(guò)程中，使用掩模板進(jìn)行掩模曝光是非常重要的核心工藝，它既是決定產(chǎn)品品質(zhì)的重要環(huán)節(jié)，也是影響產(chǎn)品良率的關(guān)鍵部分?，F(xiàn)有技術(shù)中，掩模板存放于掩模板存儲(chǔ)區(qū)，當(dāng)需要使用掩模板時(shí)，人工將掩模板搬運(yùn)至曝光機(jī)的掩模板緩存區(qū)。目前，曝光機(jī)的掩模板緩存區(qū)只能緩存五張掩模板?，F(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷在于，當(dāng)生產(chǎn)量較大、產(chǎn)品型號(hào)較多，或者需要進(jìn)行生產(chǎn)管理調(diào)控時(shí)，需要耗費(fèi)大量的人力來(lái)搬運(yùn)掩模板，勞動(dòng)力成本較高;此外，人工搬運(yùn)掩模板也難以保...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。