技術(shù)編號：10689064
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。閃速存儲器是可以快速地電擦除和重新編程的電子非易失性計算機存儲介質(zhì)。它用于各種電子器件和設(shè)備。為了存儲信息，閃速存儲器包括存儲單元的可尋址的陣列，存儲單元具有電荷存儲組件。常見的閃速存儲單元包括堆疊柵極存儲單元和分裂柵極存儲單元。與堆疊柵極存儲單元相比，分裂柵極存儲單元具有較高的注入效率、對短溝道效應(yīng)的更小易感性和更好的擦除免疫性。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，提供了一種分裂柵極存儲單元，包括選擇柵極，設(shè)置在半導(dǎo)體襯底上方，通過柵極介電層與所述半導(dǎo)體襯底...
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