技術(shù)編號(hào)：10706571
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。涂布設(shè)備中所使用的光敏材料是光阻，由于光阻長(zhǎng)時(shí)間暴露在外，而光阻成分之一的溶劑是易揮發(fā)、易干燥凝結(jié)的物質(zhì)。因此，作為光阻涂布設(shè)備，目前業(yè)界涂布設(shè)備在光阻凝結(jié)時(shí)，一般需停機(jī)，并且采用經(jīng)刮拭噴嘴、溶劑泡管、排泡等步驟進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。其中一種維護(hù)保養(yǎng)方式是利用手動(dòng)刮拭方法對(duì)噴嘴進(jìn)行刮拭，但是人為操作風(fēng)險(xiǎn)大，操作者方法、熟練度不一，可能會(huì)發(fā)生刮刀片斷裂、從而遺留部分刮刀殘片在噴嘴里的情況，若未及時(shí)發(fā)現(xiàn)，則會(huì)對(duì)后續(xù)工藝造成極大影響，需耗費(fèi)大量時(shí)間排查和取出，而造成產(chǎn)能...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。