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技術(shù)編號(hào)：10739063

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隨著光纖預(yù)制棒技術(shù)的發(fā)展，目前較成熟的預(yù)制棒芯棒的制備方法主要有軸向氣相沉積法(VAD)、改進(jìn)的化學(xué)氣相沉積法(MCVD)、等離子體化學(xué)氣相沉積法(MCVD)。本專利使用裝置背景為軸向氣相沉積(VAD)。VAD法制造芯棒是在反應(yīng)腔體內(nèi)用噴燈噴出SiC14/GeC14/H2/02等的混合氣體，經(jīng)燃燒生產(chǎn)Si02、Ge02等粉末，粉末通過(guò)熱泳沉積在腔體中心的石英靶棒上，靶棒隨卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)并上升，逐步沉積為芯棒粉末棒。芯棒沉積工藝中粉末棒的棒徑均勻?qū)⒂绊懶景魠?shù)的一...
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