技術(shù)編號(hào)：10761652
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前生產(chǎn)鍍膜產(chǎn)品的鍍膜生產(chǎn)線中大多采用平面濺射陰極靶材，其工作原理是將需鍍膜產(chǎn)品通過輥道輸送機(jī)構(gòu)送入真空鍍膜室內(nèi)，真空鍍膜室內(nèi)通入一定量的高純工藝氣體一一如氧氣、氮?dú)饣驓鍤猓陔姶艌黾坝坞x電子的作用下工藝氣體形成帶正電的等離子體，等離子體在載有高負(fù)電壓的陰極的吸引下，在磁場的控制下，按照一定的軌跡和力度轟擊固定安裝在真空鍍膜室內(nèi)的平面陰極靶材上的鍍膜用材料，鍍膜材料被氣體分子碰撞出來，按照一定方向沉積在玻璃上形成一定厚度的膜層。目前所使用的輥道輸送機(jī)構(gòu)具有...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。