技術(shù)編號(hào):10858071
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前,在平板顯示及半導(dǎo)體行業(yè)中,生產(chǎn)一塊顯示屏幕需要經(jīng)過(guò)多道工序,其中,濕法處理作為一種常用的制作工序,通常采用不用的藥液對(duì)基板進(jìn)行刻蝕、顯影、剝離、清洗等處理。在刻蝕處理的過(guò)程中,常用的處理方式有兩種一種是浸泡式處理,即將待處理的基板浸泡于刻蝕液中;另一種是噴淋式處理,即采用噴頭等機(jī)構(gòu)向待處理的基板表面噴淋刻蝕液。在噴淋式處理過(guò)程中,當(dāng)待處理的基板面積較大時(shí),需要使用傳送機(jī)構(gòu)來(lái)傳送待處理的基板。相關(guān)技術(shù)中,傳送機(jī)構(gòu)分為滾軸和輪圈,由于輪圈具有一定的面積,...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。