技術(shù)編號：10896668
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著科技的發(fā)展，濕式工藝的技術(shù)已趨于成熟使得濕法工藝設(shè)備在各種制造業(yè)已被廣泛使用。然而，在傳統(tǒng)的濕法工藝設(shè)備中依然存在諸多問題有待改善，例如由于部分機構(gòu)設(shè)計不良的關(guān)系導(dǎo)致人員維修困難、設(shè)備的耗液量大導(dǎo)致生產(chǎn)成本高昂、設(shè)備容易發(fā)生漏液的問題導(dǎo)致零件受損…等等。再者，在濕式工藝中由于是將基板放置在密閉的工藝腔體中進行多道化學(xué)性的工藝，因此工藝腔體內(nèi)部的工藝環(huán)境是影響濕式工藝的關(guān)鍵，倘若工藝環(huán)境變異將會導(dǎo)致基板產(chǎn)生品質(zhì)不穩(wěn)定的問題。在傳統(tǒng)的濕法工藝設(shè)備中一般會在...
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